[发明专利]光纤对接连接器的安装座及其制作方法

权利要求书

1.一种光纤对接连接器的安装座，其特征在于：该安装座包括座体（10）以及设置于该座体（10）上表面的V型槽（20），所述V型槽（20）的表面覆盖有保护层（30）。

2.根据权利要求1所述光纤对接连接器的安装座，其特征在于：所述V型槽（20）为至少两条，各V型槽（20）平行设置，所述保护层（30）覆盖各V型槽（20）。

3.根据权利要求1或2所述光纤对接连接器的安装座，其特征在于：所述座体（10）为硅基材料制成。

4.根据权利要求3所述光纤对接连接器的安装座，其特征在于：所述保护层（30）为石英玻璃。

5.一种如权利要求1至4中任一项所述光纤对接连接器的安装座的制作方法，其特征在于：该方法包括以下步骤： A.加工硅基材料的安装座，并在该安装座上表面加工V型槽； B.在步骤A加工的V型槽上化学沉淀保护层。

6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于：所述步骤A中包括以下分步骤： A1.选择晶圆，并采用化学方式生长氧化层和氮层； A2.高速旋转涂抹光刻胶，并光照制版； A3.刻蚀氧化层和氮层，除去光刻胶并清洗； A4.第二次蚀刻，去除氧化层和氮层； A5.化学沉积SiO2。

7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于：所述步骤A3中刻蚀氧化层和氮层采用干法蚀刻工艺。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：所述步骤A3中刻蚀氧化层和氮层采用反应离子刻蚀。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的制作方法，其特征在于：所述步骤A4中的第二次蚀刻采用氢氧化钾蚀刻液。