[发明专利]基于无回波反馈延迟结构的白光干涉方法及其实现系统

权利要求书

1.一种基于无回波反馈延迟结构的白光干涉方法，其特征在于使用光纤偏振分束器构造无回波反馈延迟线结构，在共路干涉中，形成正、反两束相干光束，来自于反馈元件的非相干回波由于偏振态垂直而无法经过光纤偏振分束器达到探测器而得到抑制，从而提高干涉条纹的对比度。

2.根据权利要求1所述的基于无回波反馈延迟结构的白光干涉方法，其特征在于所述的无回波反馈延迟线结构，包括光纤法拉第旋转反射镜（7），延迟光纤（14），偏振分束器（6），A，B，C分别为偏振分束器（6）的端口；设偏振分束器（6）的入射端为C，而输出的两偏振光为x偏振方向,y偏振方向 ,将延迟光纤（14）一端接入C端，另外一端90°连接法拉第旋转反射镜（7）；  

或者所述的无回波反馈延迟线结构，包括光纤法拉第旋转反射镜（15（旋转45°），平面反射镜（16），延迟光纤（14），偏振分束器（6），A，B，C分别为偏振分束器（6）的端口；光纤法拉第旋转反射镜（15）设置在延迟光纤（14）和平面反射镜（16）之间；

或者所述的无回波反馈延迟线结构，包括光纤法拉第旋转反射镜15（旋转45°），平面反射镜（16），延迟光纤（14），偏振分束器（6），A，B，C分别为偏振分束器（6）的端口；法拉第旋转反射镜（15）设置在延迟光纤（14）和偏振分束器（6）的入射端C之间。

3.一种基于权利要求1或2所述白光干涉方法的实现系统，其特征在于包括：光源（1，第一光电探测器（2），第二光电探测器（3），第一光纤耦合器（4），第二光纤耦合器（5），准直器（8），待测自由面（9），无回波反馈延迟线结构（20），A1，B1分别为其输入端口；第一光纤耦合器（4）有两个端口10、11，第二光纤耦合器（5）有两个端口12、13；

该实现系统的光路是：光源（1）发出的光经过第一光纤耦合器（4）分光后，端口10的光从端口12经过第二光纤耦合器（5）分光到达准直器（8），入射到被测靶面（9），经过被测靶面（9）反射后，被准直器（8）接收，光波重新经过第二光纤耦合器（5）分光后，由端口13的光到达偏振分束器（6），分光经过偏振分束器（6）经过延时（14），反馈装置反射，重新耦合到偏振分束器（6）中，分光后到达端口11，形成顺时针方向的光，光的路线依次经过：光源（1）、第一光纤耦合器（4）、端口10、端口12、第二光纤耦合器（5）、准直器（8）、被测靶面（9）、准直器（8）、第二光纤耦合器（5）、端口13、偏振分束器（6）、延迟光纤（14）、反馈装置、延迟光纤(14)、偏振分束器（6）、端口11、第一光纤耦合器（4）；

另一路端口11的光经过偏振分束器（6）分光，经过延时光纤（14），被反馈装置反射，重新耦合偏振分束器（6）分光，到达第二光纤耦合器（5）的端口13，分光后经过准直器（8），入射到被测靶面（9），反射，被准直器（8）接收，光波重新经过第二光纤耦合器（5）分光后，端口12的光到达第一光纤耦合器（4）的端口10，形成逆时针方向的光，光的路线为：光源（1）、第一光纤耦合器（4）、端口11、偏振分束器（6）、延时光纤（14）、反馈装置、延时光纤（14）、偏振分束器（6）、端口13第二光纤耦合器（5）、准直器（8）、被测靶面（9）、准直器（8）、第二光纤耦合器（5）、端口12、端口10、第一光纤耦合器（4）；两束光在第一光纤耦合器（4）形成干涉，输出干涉信号。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于所述的反馈装置为法拉第旋转反射镜（7），或者光纤法拉第45°旋转镜（15）加平面反射镜（16）的结构。