[发明专利]使用双释放层的功能纳米颗粒的纳米压印光刻形成

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2010年11月5日提交的，申请号为61/410,632的美国临时申请的优先权，将该申请通过援引纳入于此。

背景信息

纳米制造包括制造具有在100纳米或更小量级上的特征的非常小的结构。尽管在集成电路行业内被熟知，纳米制造技术可应用于生物领域、太阳能电池行业、电池行业和/或其他行业。例如，参见：美国专利公开号2007/0031505；美国专利号6,918,946；美国专利号7,705,237；Kelly等人的“Shape-specific monodisperse nano-molding of protein particles（蛋白质颗粒的因形状而异的单分散纳米成型）”，美国化学学会期刊，2008年，第130卷，第5437-5439页；以及Canelas等人的“Top-down particles fabrication:control of size and shape for diagnostic imaging and drug delivery（从上到下的颗粒制造：为诊断成像和给药而对大小和形状的控制）”，威立纳米医学与纳米生物技术，2009年，第1卷，第391-404页。

压印光刻技术包括在位于基底上的可成形层中的释放图案的成形。基底可被耦合到移动平台来获得期望定位以促进图案化（patterning）过程。图案化过程可使用与基底间隔开的模板以及被施加在该模板和该基底之间的可成形液体。可成形液体被固化以在基底上形成与接触该可成形液体的模板的形状相一致的特征。在固化之后，将模板与特征分离并使基底经受其他的处理来形成功能纳米颗粒（例如，给药设备、电池等等）。

附图简要描述

图1示出光刻系统的简化侧视图。

图2示出图1中示出的、有图案化层位于其上的基底的简化侧视图。

图3示出图2中示出的、有形成于其上的多个凸起的基底的简化侧视图。

图4示出通过图3的凸起的释放形成的柱体的简化侧视图。

图5A-5E示出通过压印光刻形成多层纳米颗粒的简化侧视图。

图6A-6E示出通过压印光刻形成多层纳米颗粒的简化侧视图。

图7A-7E示出通过压印光刻形成多层纳米颗粒的简化侧视图。

图8示出通过压印光刻形成的多层基底。

图9示出通过压印光刻形成的多层基底。

图10示出使用压印光刻形成多层纳米颗粒的示例性方法的流程图。

图11是纳米颗粒药物载体的示意性横截面视图。

图12是示出从纳米颗粒药物载体的药物释放与时间的函数的图表。

图13是带有阻挡层的经涂敷的纳米颗粒药物载体的横截面示意图。

图14是对于多层纳米颗粒药物载体而言随时间的释放率的图表。

图15是带有不同厚度的药物装载层的纳米颗粒药物载体的横截面示意图。

图16是示出对于图19中示出的纳米颗粒药物载体而言的随时间释放的药物的图表。

图17A和17B是带有类似表面面积的药物装载层的纳米颗粒药物载体的示意性立体图。

图18是示出对于图21中示出的纳米颗粒药物载体而言的随时间释放的药物的图表。

图19A和19B是在不同层中带有带相反电荷的种类的纳米颗粒药物载体的横截面示意图。

详细描述

参考附图，特别是参考图1和图2，其中示出了用于在基底12上形成功能性的纳米颗粒和/或微颗粒的光刻系统10。基底12可被耦合到基底卡盘14。如图所示，基底卡盘14是真空卡盘。然而，基底卡盘14可以是任何卡盘，包括但不限于：真空、针脚型、槽型、静电、和/或电磁等等。示例性卡盘在美国专利号6,873,087、美国专利号7,635,445、美国专利公开号2006-0172031、美国专利号7,636,999、以及美国专利号7,635,263中描述过，所有文献均通过援引整体纳入于此。

基底12和基底卡盘14可进一步由平台16支撑。平台16可提供相对于x、y和z轴的旋转和/或平移运动。平台16、基底12和基底卡盘14还可位于基座（未示出）上。

与基底12间隔开的是模板18。模板18可包括从模板18向基底12延伸的台面（mesa）20，其中台地20上具有图案化表面22。而且，台面20可被称为模（mold）20。替代地，模板18可在没有台面20的情况下形成。