[发明专利]感光性透明组成物、彩色滤光片及其制造方法以及固态摄影元件有效
| 申请号: | 201180062073.8 | 申请日: | 2011-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN103270435B | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
| 发明(设计)人: | 斋江俊之;汉那慎一;久保田诚;永田裕三 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G03F7/004;G03F7/032;G03F7/038;H01L27/14 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 臧建明 |
| 地址: | 日本东京港区*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 固态 摄影 元件 彩色 滤光 感光性 透明 组成 以及 使用 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物、以及使用所述组成物的固态摄影元件的彩色滤光片的制造方法、固态摄影元件的彩色滤光片以及固态摄影元件。
背景技术
近年来,影像感测器(image sensor)的像素的微型化以及像素数目的增加正在不断发展,其试图提高影像感测器(CCD、CMOS)的解析度,但另一方面,孔径变小,导致灵敏度降低。
因此,出于增加灵敏度的目的,如图1中所示,有时使多个彩色滤光片中的一者成为白色(透明)滤光片(参见JP-A-2007-53153(如本文中所使用,术语“JP-A”意谓“未审查公开日本专利申请案”))。在所述图中,W指示白色图案(透明图案),R指示红色图案,G指示绿色图案,且B指示蓝色图案。
作为在彩色滤光片中制造所述白色图案(白色滤光片像素)的方法,例如已知藉由使用含有可聚合单体、碱溶性树脂、光聚合起始剂(photopolymerization initiator)以及特定紫外线吸收剂的感光性透明组成物形成涂布层,且随后使所述涂布层经受曝光以及显影剂以形成彩色滤光片的技术(参见JP-A-2009-265642)。
据称,根据JP-A-2009-265642中所述的感光性透明组成物,曝光照度依赖性(exposure illuminance dependency)保持较低,残余膜比率较高且显影浮渣极少,可稳定形成解析度极佳的图案,且可提供不降低可见光透射率并能够显示明确高品质影像的彩色滤光片。
发明内容
然而,在像素进一步微型化的情况下,尤其需要滤光片像素单边为约1微米的彩色滤光片,且需要亦可在安装具有所述尺寸的白色滤光片影像的彩色滤光片的影像感测器中捕捉高品质影像。
附带而言,JP-A-2008-185683例如在实例中揭示,使用含有金属氧化物粒子、具有大于或等于两个丙烯酰基的化合物、光聚合起始剂以及界面活性剂的组成物形成膜且使所述膜曝光以及显影,藉此形成微透镜阵列。然而,在JP-A-2008-185683中,既未揭示亦未暗示获得具有白色滤光片像素的彩色滤光片或获得单边尺寸为约1微米的精细滤光片像素。
在这些情况下,已作出本发明,且本发明的一目的在于提供一种用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物,其可制造含有单边为约1微米的白色滤光片像素的彩色滤光片,且确保当所述彩色滤光片安装于影像感测器中时,可在所述影像感测器中在高灵敏度下捕捉高品质影像;以及使用所述组成物的固态摄影元件的彩色滤光片的制造方法、固态摄影元件的彩色滤光片以及固态摄影元件。
藉由深入地研究,本发明者已发现,当设计感光性透明组成物以使得由感光性透明组成物获得的固化膜具有相对高的折射率时且当含有所述固化膜作为单边为约1微米的白色滤光片像素的彩色滤光片安装于影像感测器中时,可在高灵敏度下进行在所述影像感测器中的摄影。
此外,本发明者已发现,当将碱溶性树脂并入感光性透明组成物中时且当使用以上所获得的感光性透明组成物形成膜且使所述膜曝光以及碱性显影时,在显影浮渣减少的状态下在高解析度下获得尽管单边尺寸为约1微米但仍具有极佳图案轮廓的图案。另外,已发现,当使用由此获得的图案作为彩色滤光片中的白色滤光片像素时,可在影像感测器中捕捉高品质影像。
本发明具有以下组态,且上述目的可藉由这些组态实现。
(1)一种用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物,其含有:
(A)光聚合起始剂,
(B)可聚合化合物,以及
(C)碱溶性树脂,
其中由所述感光性透明组成物获得的固化膜对于波长为633纳米的光具有1.60至1.90的折射率。
(2)如上文(1)中所述的用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物,其更含有无机精细粒子。
(3)如上文(2)中所述的用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物,其中所述无机精细粒子是含有选择自由Si、Ti、Zr、Al以及Sn所组成的群中的一个成员或大于或等于两个成员的氧化物。
(4)如上文(1)至(3)中任一者所述的用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物,其中所述碱溶性树脂为具有可聚合基团的树脂。
(5)如上文(1)至(4)中任一者所述的用于固态摄影元件的彩色滤光片的感光性透明组成物,其更含有分散剂。
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