[发明专利]低压力下降混合器

权利要求书

1.一种混合流体的方法，包括：

通过流量计递送主流体至关闭的控制阀下游的区域；

测量通过所述流量计递送的主流体的量；

测量关闭的控制阀下游的区域中主流体的压力；

通过质量流量控制器递送辅助流体至关闭的控制阀下游的区域；

基于对通过所述流量计递送的主流体的量进行的测量，来控制通过所述质量流量控制器递送的辅助流体的量；

测量关闭的控制阀下游的区域中辅助流体的压力；

比较关闭的控制阀下游和上游的测量压力；

当测量的下游压力和测量的上游压力之间的差超过预定量时，打开所述控制阀；以及

在所述控制阀上游的区域中混合所述主流体和辅助流体。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述流体是气体。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述流体是液体。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述流体是气体和液体。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测量的下游压力和所述测量的上游压力之间的差由来自与所述控制阀上游的区域流体连接的处理设备的需求形成。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述处理设备是用于电子装置、显示装置或太阳能电池装置的制造的设备。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括将附加流体与所述主流体和辅助流体混合。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述主流体是氟气体，且所述辅助流体是稀释气体。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述氟气体由氟生成器产生。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述稀释气体是氩、氮、氦、氢、空气、氧或甲烷。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，主流体以0.3至200psig的压力被递送到所述控制阀下游的区域。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，辅助流体以5至500psig的压力被递送到所述控制阀上游的区域。

14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述主流体经历递送和混合之间小于1psig的压力下降。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述压力下降小于0.3psig。

16.一种混合流体的系统，包括：

主流体的源；

与所述主流体的源流体连接的流量计；

辅助流体的源；

与所述辅助流体的源流体连接的质量流量控制器；

流体连接在所述流量计和所述质量流量控制器之间的阀；

用于测量所述阀下游的压力的装置；

用于测量所述阀上游的压力的装置；以及

控制装置，用于响应于通过所述流量计递送的主流体的量控制通过所述质量流量控制器递送的辅助流体的量，并且响应于在所述阀的上游和下游进行的压力测量之间的差打开或关闭所述阀。

17.如权利要求16所述的系统，其特征在于，所述流体是气体、液体或气体和液体的组合。

18.如权利要求16所述的系统，其特征在于，还包括与所述阀的上游流体连接的处理设备。

19.如权利要求18所述的系统，其特征在于，所述处理设备是用于电子装置、显示装置或太阳能电池装置的制造的设备。

20.如权利要求16所述的系统，其特征在于，还包括用于与所述主流体和辅助流体混合的附加流体的源。

21.如权利要求16所述的系统，其特征在于，所述主流体是氟气体，且所述辅助流体是稀释气体。

22.如权利要求21所述的系统，其特征在于，所述稀释气体是氩、氮、氦、氢、空气、氧或甲烷。

23.如权利要求16所述的系统，其特征在于，所述主流体的源是氟生成器。