[发明专利]被覆工具

权利要求书

1.一种被覆工具，其由基材和被覆在其表面上的覆膜构成，覆膜含有：被覆在基材表面上的中间膜和在中间膜的表面上利用物理蒸镀法被覆的氧化物膜，测定对被覆工具的表面以196N的施加负荷P按压维氏压头而在被覆工具的表面上产生的裂纹长度dc（μm）和基材的断裂韧性K_IC（MPa·m^0.5）后由以下的数学式1的公式求出的开裂系数R为0.07～0.12m^0.5，

数学式1

R＝P/(dc·K_IC)

2.根据权利要求1所述的被覆工具，其中，覆膜包含：

由ML所示的金属化合物形成、由单层膜或2层以上的多层膜所构成的平均膜厚为1～6μm的中间膜，式中M表示选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al和Si中的至少1种元素，L表示选自C和N中的1种或2种元素；

被覆在中间膜的表面上的平均膜厚为0.01～0.9μm的由（Al(_1-y)Cr_y）₂O₃所形成的氧化物膜，式中y表示Cr相对于Al和Cr总量的原子比，y满足0.1≤y≤0.5；以及

被覆在氧化物膜的表面上、由QJ所示的金属化合物形成、由单层膜或2层以上的多层膜所构成的平均膜厚为0.2～2μm的上部膜，式中Q表示选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al和Si中的至少1种元素，J表示选自C、N和O中的至少1种元素。

3.根据权利要求2所述的被覆工具，其中，覆膜包含：

平均膜厚为1～6μm的由Ti_(1-x)Al_xN形成的中间膜，式中x表示Al相对于Ti和Al总量的原子比，x满足0.35≤x≤0.7；

被覆在中间膜的表面上的平均膜厚为0.01～0.9μm的由（Al_(1-y)Cr_y）₂O₃形成的氧化物膜，式中y表示Cr相对于Al和Cr总量的原子比，y满足0.1≤y≤0.5；以及

被覆在氧化膜的表面上的平均膜厚为0.2～2μm的由Ti_(1-z)Al_zN形成的上部膜，式中z表示Al相对于Ti和Al总量的原子比，z满足0≤z≤0.7。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的被覆工具，其中，由数学式1的公式求出的开裂系数R为0.08～0.11m^0.5。

5.根据权利要求1、2及4中任一项所述的被覆工具，其中，中间膜由选自TiN、TiCN、TiAlN、TiAlZrN、TiAlCrN及AlCrN中的至少一种构成。

6.根据权利要求3或4所述的被覆工具，其中，中间膜的x满足0.4≤x≤0.6。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的被覆工具，其中，中间膜的平均膜厚为3~6μm。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的被覆工具，其中，中间膜为立方晶。

9.根据权利要求8所述的被覆工具，其中，在使用了Cu-Kα射线的X射线衍射测定的中间膜的衍射线中，中间膜的（200）面衍射线的峰强度最高。

10.根据权利要求8或9所述的被覆工具，其中，与中间膜的（200）面有关的正极点图的α轴的X射线强度分布在α角为80～90度的范围内显示最高强度。

11.根据权利要求2~10中任一项所述的被覆工具，其中，氧化物膜的y满足0.1≤y≤0.3。