[发明专利]液晶显示装置用玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种液晶显示装置用玻璃基板的制造方法。

背景技术

作为液晶显示装置或等离子显示装置等平面显示器的显示部的零件使用平坦的玻璃板。以下的说明中，是将此种玻璃板称为平面显示器用玻璃基板，或仅称为玻璃基板。

例如，在液晶显示装置中，使施加在封入玻璃基板间的液晶的电场变化，以使液晶的配向变化，藉此能够显示动画。由于液晶显示装置在显示影像时必需使电场变化，因此在玻璃基板形成用以施加电压的透明电极。

为了控制施加在玻璃基板上的电极的电压的on(开)/off(关)，在需要高品质显示的电视接收机等所使用的液晶显示装置中，是采用使用薄膜电晶体(TFT)的主动矩阵方式的控制。此TFT亦形成在玻璃基板上。

以此方式，由于在平面显示器用玻璃基板的玻璃面上，藉由极薄的金属膜或半导体形成电极或主动元件，因此玻璃基板的玻璃表面要求极高的平坦性与极高的洁净性。

平面显示器用玻璃基板，例如用于液晶显示装置的(以下，称为液晶用玻璃基板)，是呈薄长方形的板状的形态。液晶用玻璃基板，通常厚度为0.5mm～0.7mm左右，比1mm还薄，而且大型化的要求逐年持续在升高。

液晶用玻璃基板，是以被称为母玻璃(motherglass)的形态，供给至液晶显示装置的制造工程，而该母玻璃是具有相当于多片用于制造一个液晶显示装置所需的大小的玻璃基板的大小。此母玻璃的大小，习惯上是以所谓世代的称呼来表现，例如，第6世代的母玻璃的大小是1500mm×1850mm。母玻璃是藉由将成形为板状的玻璃板切断成既定大小所制得。此外，为了去除在玻璃板切断时所产生的脏污或碎屑等，必需洗净母玻璃即液晶用玻璃基板。

在此种状况下所进行的液晶用玻璃基板的玻璃表面的洗净过程中，使用纯水、界面活性剂等洗涤剂、以及氟化合物等各种液体。使用于玻璃表面的洗净后的液体，是藉由喷出气流除去，结束洗净步骤后，经过检查步骤等再予以出货。不过在成为制品后的液晶用玻璃基板的表面上，有时却会残留被称为水渍(watermark)的隐约的痕迹。

若发生此种水渍，则会因水渍而在形成于玻璃基板上的电极或元件产生不良，而成为液晶显示装置故障的原因。此外，在液晶用玻璃基板上形成液晶显示所需的构件时，虽然也会进行洗净，不过即使在此种情况下所进行的洗净，亦会产生水渍发生的问题。

针对此问题，为了防止水渍的发生，例如专利文献1(日本特开2009－6299号公报)所记载，以往是进行藉由气刀(airknife)等薄平面状的喷出气流，从洗净后的液晶用玻璃基板的玻璃表面，除去洗净时所使用的洗涤剂等液体。

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，由于喷出气流是由空气的流动所形成，因此即使通过喷出气流从玻璃表面除去洗净时所使用的洗涤剂等液体，亦无法完全防止水渍的发生。

本发明的课题，是在于提供一种液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，与以往的做法相比，能够大幅地减低在藉由喷出气流除去洗涤剂等液体之后产生水渍(watermark)的频度。

解决该问题的技术方案

本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法，包含：成形步骤，将熔融玻璃成形为玻璃基板；洗净步骤，使用洗涤剂洗净玻璃基板的表面；以及冲洗步骤，是用液体冲洗在洗净步骤洗净后的玻璃基板的表面。洗净步骤包含：吹送步骤，将洗涤剂吹送至玻璃基板的表面；以及除去步骤，对玻璃基板的表面供给延伸的喷出气流以除去洗涤剂。在该除去步骤，该喷出气流的风速在延伸方向上调整成均匀。

在洗净步骤所使用的洗涤剂，由于是利用在延伸方向风速均匀的喷出气流从玻璃基板的表面同样地除去，因此能够抑制在玻璃基板表面的水渍的发生。此处，所谓均匀的风速，由于有风速测量装置的误差或测量误差等的影响，因此是指在预先所决定的值的范围内。

本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法中，较佳为玻璃基板是涂布黑底(blackmatrix)。涂布有黑底的玻璃基板是作为液晶显示装置的彩色滤光片(colorfilter)使用。

本发明的液晶显示装置用玻璃基板的制造方法的除去步骤中，较佳为喷出气流的风速的偏差的绝对值，是喷出气流的风速的平均值的15％以下。例如，在喷出气流的风速的平均值为8.0m/s时，喷出气流的风速为6.8m/s～9.2m/s的范围内为比较理想。