[发明专利]排气泵

说明书

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等使用的排气泵，特别涉及能够实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性及排气性能的提高的排气泵。

背景技术

在利用螺纹槽将气体排气的形式的排气泵中，作为不改变该泵整体的大小而使排气性能提高的1个方法，已知有例如在专利文献1中公开的方法。

该方法如在该文献1的图1中记载那样，在筒形旋转部件（4a）的外周及内周上设置螺纹槽（30、31）。由此，在筒形旋转部件（4a）与包围其外周的外侧筒形固定部件（33）之间，形成螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，并且在筒形旋转部件（4a）与由其内周包围的内侧筒形固定部件（7）之间形成螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，由这些内外的螺纹槽排气通路并行将气体分子排气。

但是，在采用上述方法的排气泵中，为了向内侧螺纹槽排气通路引导气体分子，采用在筒形旋转部件（4a）的连结环部（无附图标记）上开设连通开口部（4b）的结构。因此，当通过筒形旋转部件（4a）绕其轴心旋转时的离心力或筒形旋转部件（4a）的热膨胀等而筒形旋转部件（4a）变形时，在连通开口部（4b）的缘部上发生应力集中，转子（4）容易从形成有连通开口部（4b）的连结环部（无附图标记）附近损坏等，有耐久性的问题。

此外，根据采用上述方法的排气泵，如专利文献1的图1及图2所示那样，在连通开口部（4b）的上方存在旋转翼（5）。因此，必须从筒形旋转部件（4a）的下部开口向其内周侧插入工具而开设加工连通开口部（4b）（参照本申请图2（a）的工具T4的加工），所以需要尺寸较长的工具，如果工具的支承系统的刚性较弱，则在连通开口部（4b）的开设加工时在工具上发生晃动等，在连通开口部（4b）的加工性上也有问题。

进而，通过上述方法的采用，排气泵的排气性能提高，但随着近年来的半导体及平板、太阳能面板等的大型化，生产它们的密闭腔室也成为大型，在密闭腔室内使用的反应性气体等的气体量也增加，所以对于作为将这样的气体排气的机构的排气泵要求进一步的排气性能的提高。

另外，在以上的说明中，括号内的附图标记是在专利文献1中使用的附图标记。

专利文献1：实开平5－38389号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述问题及要求而做出的，其目的是提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性及排气性能的提高的排气泵。

为了达到上述目的，第1本发明是一种排气泵，具备：筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；其特征在于，在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。

在上述第1本发明中，也可以是，通过比上述最下段的旋转翼还要下游的上述筒形旋转部件是在形成有上述连通开口部的位置处向远离上述最下段的旋转翼的方向而倾斜的向下梯度的锥形状，上述最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙使其成为上述尺寸以上。

此外，第1本发明是一种排气泵，具备：筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；其特征在于，在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与相邻于该旋转翼的旋转翼之间的开口区域是在该开口区域中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。