[发明专利]用于最优化泵的操作的方法和系统

说明书

技术领域

本公开描述了总体上涉及过滤的系统和方法。更具体地说，在此描述的实施例涉及提供具有可以存储被用于确定泵的操作的信息的过滤器信息标签的过滤器。

背景技术

对于精确控制通过泵送装置分发流体所必需的量和/或速率来说，存在许多应用。在半导体加工方面，例如，重要的是，控制向半导体晶片涂敷诸如光致抗蚀剂化学品的光化学品的量和速率。在加工期间涂敷至半导体晶片的涂层通常需要横跨晶片表面的、以埃（angstrom）测量的厚度均匀性。必须控制向晶片涂敷加工化学品的速率，以便确保均匀地涂敷加工流体。

现今，在半导体工业中使用的许多光化学品非常昂贵，经常费用高达1公升1000美元。因此，优选的是，确保化学品加工设备正确操作。另外，希望缩减用于在晶片上分发流体的周期时间。

发明内容

在此描述的实施例提供了用于利用有关连接至泵的过滤器的信息来控制泵的操作的系统和方法。在此描述的一个实施例可以包括：泵，该泵具有一个或多个电动机，该一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体，和可去除过滤器，该可去除过滤器设置在泵入口与泵出口之间的流体流径中。该泵还可以包括泵控制器，该泵控制器被设置成，接收过滤器信息，接收加工流体信息，基于过滤器信息和加工流体信息接入操作例程库，以选择用于泵的操作例程，以及根据所选择操作例程操作泵。所选择操作例程可以包括起动例程、分发周期、其它例程的分发周期的所选择段。

另一实施例可以包括具有泵和泵管理系统的泵系统。该泵可以包括：一个或多个电动机，该一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体，可去除过滤器，该可去除过滤器处于泵入口与泵出口之间的流体流径中，电子标签读取器，该电子标签读取器被定位并设置成，从电子标签读取过滤器信息，以及泵控制器。该泵控制器可以耦接至电子标签读取器并且被设置成，从电子标签读取器接收过滤器信息，通过通信链路传送过滤器信息，以及控制泵的操作以分发流体。该泵管理系统可以被设置成，从泵接收过滤器信息，基于过滤器信息和加工流体信息接入操作例程库，以选择用于泵的操作例程。该泵管理系统可以将所选择操作例程传送至泵控制器。

另一实施例可以包括一种用于控制控制泵的操作的方法，该方法包括以下步骤：将可去除过滤器连接至泵，其中，该可去除过滤器具有存储过滤器信息的电子标签；利用电子标签读取器从该电子标签接收针对该可去除过滤器的过滤器信息；基于过滤器信息和加工流体的流体特性接入操作例程库，以选择用于该可去除过滤器和加工流体的操作例程；以及根据所选择操作例程操作泵。

根据一个实施例，过滤器信息可以存储在RFID标签中并且通过RFID标签读取器来读取。

附图说明

通过参照结合附图的下列描述，可以获取对这些实施例及其优点的更完整理解，附图中，相同标号指示相同特征，并且其中：

图1是半导体制造系统的一部分的一个实施例的图解表示图；

图2是根据一个实施例的多级（multiple stage）泵（“多级（multi-stage）泵”）的图解表示图；

图3和4A-4G是针对分发周期的各个实施例的阀和电动机定时的图解表示图；

图5是例示起动（priming）例程的一个实施例的流程图；

图6A和6B是泵的一个实施例的图解表示图；

图7是过滤器和多支管（manifold）的一个实施例的图解表示图；

图8是过滤器的一个实施例的图解表示图；

图9是阀装配件的一个实施例的图解表示图；

图10是泵和连接部的一个实施例的图解表示图；

图11是用于控制泵的操作的系统的一个实施例的图解表示图；

图12是例示用于利用过滤器信息标签来影响泵的操作的方法的一个实施例的流程图；

图13是用于最优化泵的起动的方法的一个实施例的图解表示图；

图14是最优化针对泵的分发周期的一个实施例的图解表示图；

图15是用于利用过滤器信息的方法的一个实施例的图解表示图；

图16是软件架构的一个实施例的图解表示图；以及

图17是例示通过选择最佳起动例程而减少起动时间的图形。

具体实施方式