[发明专利]超声波电动机用振子

权利要求书

1.一种超声波电动机用振子，其特征在于，

在矩形板状的压电振动元件的固有振动模式的畸变较大的区域中配置外形形状包含曲线部的电极。

2.如权利要求1所述的超声波电动机用振子，其中，

为了分别独立激励屈曲振动和伸缩振动，单独设置激励屈曲振动的电极和激励伸缩振动的电极。

3.如权利要求2所述的超声波电动机用振子，其中，

设所述屈曲振动为屈曲2次振动，设所述伸缩振动为伸缩1次振动。

4.如权利要求2或3所述的超声波电动机用振子，其中，

激励所述屈曲振动的电极以所述电极的外形曲线部大致沿着所述畸变的等高线上的方式，配置在屈曲固有振动模式的畸变为规定值以上的区域中。

5.如权利要求2～4中的任意一项所述的超声波电动机用振子，其中，

激励所述屈曲振动的电极的面积为所述压电振动元件的全面积的15%以上且40%以下。

6.如权利要求2所述的超声波电动机用振子，其中，

激励所述伸缩振动的电极以所述电极的外形曲线部大致沿着畸变的等高线上的方式，配置在伸缩固有振动模式的畸变为规定值以上的区域中。

7.如权利要求2、3或6所述的超声波电动机用振子，其中，

激励所述伸缩振动的电极的面积为所述压电振动元件的全面积的15%以上且45%以下。

8.如权利要求4～7中的任意一项所述的超声波电动机用振子，其中，

在所述屈曲振动用电极与所述伸缩振动用电极发生干扰的情况下，在该干扰的部位中，所述屈曲振动用电极或所述伸缩振动用电极中的任意一个电极，以其外形曲线部大致沿着畸变的等高线上的方式配置，另一个电极以在与所述一个电极的外形部分之间形成间隙的方式配置，两个电极之间被绝缘。

9.如权利要求4或5所述的超声波电动机用振子，其中，

在屈曲振动用的电极面积相对于振子的全面积为40%时，所述屈曲固有振动模式的畸变为规定值以上的区域是利用1对畸变的最大值进行归一化而所述畸变的值为0.23以上的区域，在屈曲振动用的电极面积相对于所述振子的全面积为15%时，所述屈曲固有振动模式的畸变为规定值以上的区域是所述畸变的值为0.47以上的区域。

10.如权利要求6或7所述的超声波电动机用振子，其中，

在伸缩振动用的电极面积相对于振子的全面积为45%时，所述伸缩固有振动模式的畸变为规定值以上的区域是利用1对畸变的最大值进行归一化而所述畸变的值为0.75以上的区域，在所述伸缩振动用的电极面积相对于所述振子的全面积为15%时，所述伸缩固有振动模式的畸变为规定值以上的区域是所述畸变的值为0.95以上的区域。