[发明专利]载物台机构

说明书

技术领域

本发明涉及小型且构造简单，仅精密设备等的安装有工件的活动载物台相对于固定载物台容易且稳定地滑动，并且固定活动载物台时的间隙、固定活动载物台后的移动少的载物台机构。

背景技术

以往，提出有各种在使用进行切削、磨削、研磨等的加工机、显微镜等时，用于设置工件的载物台机构、这种载物台机构所包括的载物台的固定装置。

即，公知的载物台机构，基本上具备固定载物台以及活动载物台，例如将与进给丝杠、进给棘爪、活动轴呈一体的测微头等安装在固定载物台侧，并且在活动载物台侧安装限位器。

进而，在载物台机构中，活动轴与活动载物台侧的限位器处于始终由拉伸弹簧拉合的关系，由此抑制间隙的产生。

并且，作为这样的手动载物台之一，例如提出有方便地设置滑动部件相对于固定部件的限位机构以及滑动程度的调整机构，以能高精度地进行调整，且容易读取刻度的手动载物台(例如，参照专利文献1)。

更具体地说，如图13所示，一种手动载物台200，其特征在于，通过紧固件安装有精密设备的滑动部件204与通过紧固件和底座连接的固定部件205经由滑动机构连结，通过手柄219的操作使滑动部件204滑动，以进行所安装的精密设备的位置调整，固定部件205由树脂形成，在该固定部件205的两侧的壁部以形成倒三角形的突出部231的方式分别沿纵向设置槽232。

进而，使滑动固定螺钉210贯通在壁部设置的滑动固定螺钉用孔216进而抵靠于突出部231，使突出部231向内侧倾斜而压入滑动部件204，由此固定滑动部件204相对于固定部件205的位置，并且使多个滑动调节螺钉(未图示)贯通在固定部件205的两侧的壁部设置的多个滑动调节螺钉用孔215进而抵靠于突出部231，使突出部231向内侧倾斜而压住滑动部件204，从而对固定部件205与滑动部件204之间的滑动的程度进行微调。

并且，还提出有用于高精度且牢固地固定高精度载物台的载物台固定装置(例如，参照专利文献2)。

具体地说，如图14所示，公开了一种载物台固定装置300，其特征在于，将用于固定工件的载物台303设置于加工机的加工轴304，调整该载物台303的位置而将其固定在规定位置，该载物台固定装置300具备：设置于上述载物台303并沿与其移动方向相同的方向延伸的棒状构件306；以及从与载物台303的移动方向正交的方向以面接触的方式固定该棒状构件306的固定构件307。

[专利文献1]日本特开2010-223611号公报(权利要求书)

[专利文献2]日本特开2003-48129号公报(权利要求书等)

然而，专利文献1所公开的手动载物台存在下述问题：以燕尾槽滑轨为首，需要滑动固定螺钉、多个滑动调节螺钉等，导致部件数量变多、构造变复杂，进一步，在固定手动载物台时，会产生大的间隙，或者是手动载物台的固定性不足。

并且，专利文献2所公开的载物台固定装置存在下述问题：由于需要突出设置到规定的载物台的外部(外周)，故当为包括该载物台固定装置的载物台的情况下，载物台整体大型化，并且在固定载物台时，会产生大的间隙，或者是手动载物台的固定性不足。

发明内容

因此，本发明人通过专心的研究，结果发现通过在规定部位设置规定的间隙吸收构件，能够形成为小型且廉价的简易构造，而且能够分别获得优异的活动载物台的移动性、间隙防止性、以及固定性，完成了本发明。

即，本发明的目的在于提供一种虽为小型且廉价的简易构造却能使活动载物台容易且稳定地滑动，并且固定活动载物台时的间隙、固定活动载物台后的移动少的载物台机构。

根据本发明，提供一种载物台机构，包括固定载物台和沿该固定载物台的表面滑动的活动载物台，该载物台机构的特征在于，在形成于固定载物台的锪孔部设置有进给丝杠以及一个或者两个以上的间隙吸收构件，并且设置有连结构件，该连结构件用于使活动载物台与进给丝杠的进给同步地滑动，由此能够解决上述的问题。

这样，通过在载物台机构的规定部位，借助形成有螺纹槽的锪孔部设置规定的间隙吸收构件，能够得到小型且廉价的简易构造，而且仅通过使进给丝杠旋转即可得到优异的载物台的移动性。

并且，通过以这种方式构成，能够提供固定活动载物台时的间隙、固定后的移动少的载物台机构。

并且，当构成本发明的载物台机构时，优选间隙吸收构件是具有进给丝杠的通过孔的圆筒状的树脂构件。