[实用新型]清洗装置有效
| 申请号： | 201120545821.5 | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN202398590U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 唐强;李佩;林保璋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B7/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，其特征在于，还包括置于清洗槽内的：
毛刷装置，由电磁继电器控制其开关；
喷淋装置，位于毛刷装置的上方；
滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆。
2.根据权利要求1所述清洗装置，其特征在于：所述毛刷装置包括间隔设置的两个毛刷，每个所述毛刷内贯穿有心轴，心轴两端通过接头连接在清洗槽上。
3.根据权利要求2所述清洗装置，其特征在于：所述电磁继电器包括吸入线圈、置于吸入线圈内的铁芯、衔铁和弹簧；所述衔铁为所述毛刷的心轴且与铁芯相对设置，所述弹簧置于所述心轴的外侧。
4.根据权利要求3所述清洗装置，其特征在于：所述电磁继电器控制所述两个毛刷。
5.根据权利要求1所述清洗装置，其特征在于：所述喷淋装置包括喷淋管和连接在喷淋管上的喷嘴，所述喷淋管通过固定夹安装在清洗槽内壁上。
6.根据权利要求1所述清洗装置，其特征在于：所述滚筒为三个且位于同一平面上，所述滚筒所在平面位于两毛刷之间。
7.根据权利要求2所述清洗装置，其特征在于：所述毛刷的心轴中还包括一个喷淋管。
8.根据权利要求1所述清洗装置，其特征在于：所述毛刷装置还包括带动毛刷旋转的转动装置。
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