[实用新型]坩埚循环水应急补水装置

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种备用补水装置，尤其是涉及一种坩埚循环水应急补水装置。

【背景技术】

公知的，石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是一种必不可少的设备之一，目前的石英坩埚在1450度以下使用，大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

在生产石英坩埚的工艺步骤中，水是不可或缺的，由于石英坩埚主机在生产过程中需要循环水冷却降温，遇到突然停水停电对石英坩埚生产设备损害较大。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种坩埚循环水应急补水装置，本实用新型通过在主水管上设置自动关闭装置，在设备连接水管上利用三通连接自动储水容器，在突然停水停电时，确保设备不受损害，使生产设备慢慢降温冷却。

实现本实用新型的技术方案如下：

一种坩埚循环水应急补水装置，包括自动储水容器、主水管、自动关闭装置、三通和设备连接水管，停水自动关闭装置的两端分别联通主水管和设备连接水管，所述设备连接水管上设有三通，所述三通的分支由上下水管联通自动储水容器的下部。

所述的坩埚循环水应急补水装置，所述自动关闭装置包括一段直径大于主水管和设备连接水管的管路、挡片、弹簧、橡胶片、杆体，管路两端分别螺丝接通主水管和设备连接水管，在杆体的一侧设有挡片，所述挡片的外缘设有多个豁口，橡胶片套接在杆体挡片的一侧且由螺母固定，弹簧的一端顶在挡片的另一侧，弹簧的另一端顶在设备连接水管的端部，所述橡胶片顶在主水管的连接端端部形成主水管无来水的自动封堵。

所述的坩埚循环水应急补水装置，所述橡胶片的外缘直径略大于主水管内壁直径，橡胶片的外缘与管路内壁留有间距。

所述的坩埚循环水应急补水装置，所述自动储水容器包括容器本体和自闭上盖，自闭上盖通过内螺纹与自动储水容器上端的连接外螺纹丝接，在自闭上盖的上部设有凸起，凸起内形成上部小下部大的锥形孔，锥形孔上端设有排气孔，空心球设置在锥形孔内，空心球的外缘面与锥形孔的上部紧密配合，在锥形孔的下部设有防止空心球掉落的档杆。

通过上述公开内容，本实用新型的有益效果是：

本实用新型所述的坩埚循环水应急补水装置，通过在主水管上设置自动关闭装置，正常有水时依靠自来水的压力，自来水将挡片以及橡胶片顶开，自来水顺着挡片的豁口进入设备连接水管并自动储存在自动储水容器中，自动储水容器水满后空心球封堵自闭上盖的锥形孔，设备使用主水管内的自来水，一旦遇有突然停水停电，挡片上的橡胶片利用弹簧封堵主水管，自动储水容器内的水便进入设备连接水管开始工作，对石英坩埚主机在生产过程中进行循环水冷却降温，确保设备不受损害，使生产设备慢慢降温冷却。

【附图说明】

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的自动关闭装置结构示意图；

图3是本实用新型的挡片、杆体结构示意图；

图4是本实用新型的自闭上盖结构示意图；

图中：1、自动储水容器；2、上下水管；3、主水管；4、自动关闭装置；5、三通；6、设备连接水管；7、自闭上盖；8、弹簧；9、挡片；10、螺母；11、橡胶片；12、豁口；13、杆体；14、排气孔；15、空心球；16、锥形孔；17、档杆；18、内螺纹。

【具体实施方式】

下面结合实施例对本实用新型进行进一步的说明；下面的实施例并不是对于本实用新型的限定，而是仅作为支持实现本实用新型的方式，在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换，均为本实用新型的保护范围；

结合附图1～4所述的坩埚循环水应急补水装置，包括自动储水容器1、主水管3、自动关闭装置4、三通5和设备连接水管6，停水自动关闭装置4的两端分别联通主水管3和设备连接水管6，所述设备连接水管6上设有三通5，所述三通5的分支由上下水管2联通自动储水容器1的下部。