[实用新型]石英坩埚的热风烘箱

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种热风烘箱，尤其是涉及一种石英坩埚的热风烘箱。

【背景技术】

在现有的石英坩埚生产工艺中，大多需要根据客户需求对石英坩埚的内表面进行添加钡涂层，以便提高石英坩埚的质量和成品率，在拉制单晶硅时通过钡涂层隔离单晶硅与石英坩埚内表面的腐蚀，避免坩埚自表面发生析晶和渗漏，防止拉制单晶硅时的断苞和位错，提高拉制单晶硅的质量和合格率坩埚进行涂层前需要达到较高的温度，传统的烘干烘箱都是开间式，整体升温，产品在烘箱内部紧密码放，加热时间长，耗电量大，升温慢。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种石英坩埚的热风烘箱，本实用新型通过在架体的石英板上放置石英坩埚，使得石英坩埚与腔体底部出现间距，热风可以同步加热石英坩埚的任何部位，节约用电达到20％以上。

实现本实用新型的技术方案如下：

一种石英坩埚的热风烘箱，包括箱体、箱门、架体和石英板，在箱体的腔体开口处设有箱门，所述箱体的腔体下部设有架体，在架体上间隔设有多块石英板。

所述的石英坩埚的热风烘箱，所述架体包括上部网状板、竖支撑和横支撑，在上部网状板下部面上设有多根竖支撑，竖支撑的下端与横支撑连接。

所述的石英坩埚的热风烘箱，上部网状板为长方形结构。

通过上述公开内容，本实用新型的有益效果是：

本实用新型所述的石英坩埚的热风烘箱，在现有的热风烘箱腔体内加装架体，并且在架体上放置石英板，通过在架体的石英板上放置石英坩埚，使得石英坩埚与腔体底部出现间距，热风可以同步加热石英坩埚的任何部位，加热速度大幅度提升，通过本实用新型改动后处理相同产品数量，节约用电达到20％以上，间接为公司降低生产成本，增加企业效益。

【附图说明】

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图中：1、腔体；2、箱体；3、竖支撑；4、石英板；5、架体；6、横支撑；7、箱门。

【具体实施方式】

结合实施例对本实用新型进行进一步的说明；下面的实施例并不是对于本实用新型的限定，而是仅作为支持实现本实用新型的方式，在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换，均为本实用新型的保护范围；

结合附图1所述的石英坩埚的热风烘箱，包括箱体2、箱门7、架体5和石英板4，在箱体2的腔体1开口处设有箱门7，所述箱体2的腔体1下部设有架体5，在架体5上间隔设有多块石英板4；所述架体5包括上部网状板、竖支撑3和横支撑6，上部网状板为长方形结构，在上部网状板下部面上设有多根竖支撑3，竖支撑3的下端与横支撑6连接。

实施本实用新型所述的石英坩埚的热风烘箱，在现有的热风烘箱腔体1内设置架体5，由架体5形成与腔体1底部的间隔，在架体5上放置石英板4，将石英坩埚放在架体5的石英板4上，开始热风烘烤石英坩埚，由于本实用新型的石英坩埚加热中与腔体底部留有间距，热风可以同步加热石英坩埚的任何部位，加热速度大幅度提升，通过本实用新型改动后处理相同产品数量，节约用电达到20％以上。

本实用新型未详述部分为现有技术。