[实用新型]一种共焦显微系统三维扫描装置有效
| 申请号： | 201120534175.2 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN202372163U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 杨召雷;董洪波;胡凯 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显微 系统 三维 扫描 装置 | ||
1.一种共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于，所述装置包括：横向扫描装置、纵向扫描装置；
所述横向扫描装置包括第一高精度位移台、第二高精度位移台，第一高精度位移台、第二高精度位移台互成90°叠加放置，实现横向扫描；
所述纵向扫描装置采用压电陶瓷控制器驱动，以实现高精度扫描。
2.根据权利要求1所述的共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于：
所述第一高精度位移台、第二高精度位移台之间设有第一连接件，第一高精度位移台设置于第二高精度位移台上方。
3.根据权利要求1所述的共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于：
所述装置进一步包括载物台，所述载物台设置于第一高精度位移台上方、纵向扫描装置下方。
4.根据权利要求3所述的共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于：
所述第一高精度位移台上方设有第二连接件，第二连接件上方设置升降台，升降台连接所述载物台。
5.根据权利要求1所述的共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于：
所述装置进一步包括支架，支架底部设有底座，底座上方设置所述第二高精度位移台；所述纵向扫描装置设置于所述支架的顶部。
6.根据权利要求1所述的共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于：
所述第一高精度位移台、第二高精度位移台、纵向扫描装置分别设有控制器，用以控制第一高精度位移台、第二高精度位移台、纵向扫描装置的移动；
所述装置进一步包括计算机，各控制器通过串口连接计算机。
7.根据权利要求6所述的共焦显微系统三维扫描装置，其特征在于：
所述压电陶瓷控制器通过GPIB接口与计算机相连。
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