[实用新型]一种液刀

说明书

技术领域

本实用新型属于领域，尤其涉及一种能对物体表面涂布流体的设备所使用的液刀。

背景技术

现有液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)的制造过程会采用显影机(Developing Equipment)来进行显影，其中显影机可以对基板(例如：玻璃基板)表面涂布显影剂(Developer)。一般而言，目前有些显影机具有液刀，而显影剂会从液刀流出而涂布在基板上。如此，显影剂能局部去除基板上的光阻层，从而形成光阻图案层。

一般而言，当显影剂从液刀流出时，液刀的吐出口通常会设计成一条狭缝(Slit)，促使显影剂均匀地流出，以形成一道既无波纹，也无分岔的液体帘幕(Liquid Curtain)。如此，显影剂能均匀地涂布在基板上，使光阻图案层能在基板上暴露出正确区域，并减少出现显影异常区域的机率。

然而，在常见的液刀中，由于吐出口为一条狭缝，且显影剂在液刀内的出口基本上只有吐出口，因此当液刀内存有异物时，吐出口容易遭到异物所阻塞。所以，现有液刀常会发生吐出口被阻塞的情形。一旦吐出口被异物阻塞的话，显影剂不能从吐出口均匀地流出，从而发生分岔或是液体帘幕出现波纹等异常状况，造成显影剂无法均匀地涂布在基板上。

这会增加显影异常区域出现的机率，造成光阻图案层覆盖到原本应该要被暴露的正确区域，导致良率(Yield)下降。此外，因为吐出口容易遭到异物所阻塞，所以维修液刀的频率会增加，造成工作人员须要经常拆卸液刀来清除异物，以至于显影机的工作时间减少而降低生产力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液刀，旨在解决现有的液刀由于显影剂的吐出口为一条狭缝，容易阻塞，导致显影剂不能从吐出口正常流出，进而造成被加工件良率下降、且液刀维护时间成本高的问题。

本实用新型是这样实现的，本实用新型提出一种液刀，其包括一盖板、一槽体以及一分隔件。槽体具有一结合面、一出口面、一凹槽、至少一注入口以及至少二排液通道，而结合面与出口面均位在凹槽的一槽口周围。盖板固定在结合面上，而盖板与出口面之间存有一吐出口。出口面位于这些排液通道之间，而分隔件固定在凹槽内，并且与盖板之间存有一缝隙。分隔件将凹槽分割成一饱和槽与一缓冲槽，其中饱和槽位在分隔件与出口面之间，并且连通吐出口与这些排液通道，而注入口与缓冲槽连通。

在本实用新型一实施例中，这些排液通道为多条沟渠，而各条沟渠裸露在出口面与结合面之间。

在本实用新型一实施例中，各条沟渠具有一第一端口与一第二端口，而出口面具有一外边缘，其中外边缘位于饱和槽的相对处。这些第一端口裸露于饱和槽内，而各个第二端口位于外边缘旁，其中这些第一端口之间的距离小于这些第二端口之间的距离。

在本实用新型一实施例中，这些排液通道之间的距离从这些第一端口朝向这些第二端口渐增。

在本实用新型一实施例中，上述盖板具有至少二个排出贯孔，这些排出贯孔与饱和槽连通，并且分别位在这些第一端口旁。

在本实用新型一实施例中，各个第二端口的孔径小于各个排出贯孔的孔径。

在本实用新型一实施例中，上述液刀更包括至少二个阻挡件，而这些阻挡件分别配置在这些排出贯孔内。

在本实用新型一实施例中，上述槽体更具有一第一平面与一斜面。第一平面与斜面均位于饱和槽内，而第一平面连接在分隔件与斜面之间。斜面从第一平面朝向出口面延伸。

在本实用新型一实施例中，上述槽体更具有一第二平面与一对导流面，而出口面具有一对彼此相连的内边缘。第二平面与这些导流面均位于饱和槽内，而这些导流面位于出口面与第二平面之间，并且彼此相连，其中第二平面邻接斜面，而各面导流面邻接第二平面，并从第二平面延伸至其中一内边缘，出口面位于这些内边缘交接处的角度小于180度。

在本实用新型一实施例中，各面导流面为一内凹弧面或平面。

在本实用新型一实施例中，上述液刀更包括多个挡块，这些挡块固定在缓冲槽内，其中相邻二个挡块之间存有一缓冲室，而注入口与缓冲室连通。

在本实用新型一实施例中，上述盖板的厚度介于16mm至16.5mm之间。

利用上述排液通道，本实用新型的液刀能在不被拆卸的情况下排出异物。这样便可减少发生吐出口遭异物阻塞的机率，并能减少液刀维修及拆卸的频率。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1A是本实用新型一实施例提供的液刀的立体示意图；