[实用新型]洁净室用工作台和保管架

说明书

技术领域

本实用新型涉属于净化工程领域，具体涉及一种洁净室用工作台和保管架。

背景技术

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间，也成为无尘室。洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产制造。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定，也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于亚微米级器件结构而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在亚微米级器件结构产品的生产上，无尘是必然的要求。

随着产品加工的精密化和对产品质量的要求提高，对于制作这类产品的洁净环境也比以前有了更加严格的管控和标准。对于要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就需要使用单向气流，并且通常使用自上而下的单项气流。在一间没有任何障碍物的空房间，单向气流可以用较低的风速而很快将污染物清除，但在洁净室，大部分使用的工作台或者保管架都是采用平板型的台面和支架组装而成，这些工作台及保管架都会使单向气流变成紊流，产生扬尘，这些灰尘颗粒一旦沉降到加工器件的敏感部位就会导致致命的缺陷。也有少数洁净室采用若干的条形部件平行排列、用连接部件固定形成台面的方式来减少紊流，但只采用这种措施的效果并不明显。

如果能设计一种防止单向气流形成紊流或降低紊流程度的工作台和保管架，就可以进一步提高操作间的洁净度，从而提高产品的质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可降低紊流程度的洁净室用工作台和保管架。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

洁净室用工作台，包括若干条形部件，条形部件平行排列并由连接部件固定形成台面，所述台面由支脚支撑，条形部件之间有间隔，各条形部件的横截面的迎风一端为圆弧状。

其中，所述连接部件的横截面的迎风一端为圆弧状。

其中，所述各条形部件的横截面为水滴形，水滴形尖部的指向为铅垂向下。

进一步的，所述连接部件的横截面为水滴形，水滴形尖部的指向为铅垂向下。

本实用新型还提供一种洁净室用保管架，由上述的洁净室用工作台上下连接而成。

本实用新型的有益效果是：本实用新型是基于减少对气流的阻碍的原理而设计的洁净室用工作台和保管架，利用横截面迎风一端为圆弧状、进一步的横截面形状为水滴形的条形部件和连接部件，能够有效的减少对单向气流的阻碍作用，从而降低单向气流形成紊流的程度，有效地保障原来的气流方向，最大限度的提高洁净室的洁净度，保护加工器件、使其不受到微粒的影响。

附图说明

图1为本实用新型洁净室用工作台结构示意图；

图2为图1的A-A剖视图；

图3为本实用新型洁净室用保管架示意图；

图中标记为：支脚1、连接部件2、条形部件3。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1和图2所示，本实用新型洁净室用工作台，包括若干条形部件3，条形部件3平行排列并由连接部件2固定形成台面，所述台面由支脚1支撑，条形部件3之间有间隔，各条形部件3的横截面的迎风一端为圆弧状。本实用新型是基于减少对气流的阻碍的原理而设计的洁净室用工作台，利用横截面的迎风一端为圆弧状的条形部件3，能够有效的减少对单向气流的阻碍作用，从而降低单向气流形成紊流的程度，有效地保障原来的气流方向，最大限度的提高洁净室的洁净度，保护加工器件、使其不受到微粒的影响，进一步提高产品的质量。

为了进一步减少对单项气流的阻碍作用，降低单项气流形成紊流的程度，所述连接部件2的横截面的迎风一端为圆弧状。

由于洁净室采用自上而下的单项气流可以在较低的风速下很快将污染物清除，并且清除的效果最好，大部分的洁净室都采用这个方向的单项气流。同时，水滴形是对单项气流阻碍作用最小的形状。因此，为了使工作台对这种方向下的单向气流的阻碍最小，所述各条形部件3的横截面为水滴形，水滴形尖部的指向为铅垂向下。

上述洁净室用工作台中，为了进一步减少对单项气流的阻碍作用，降低单项气流形成紊流的程度，所述连接部件2的横截面为水滴形，水滴形尖部的指向为铅垂向下。

本实用新型还提供一种洁净室用保管架，由上述的任一一种洁净室用工作台上下连接而成。本实用新型洁净室用保管架也是是基于减少对气流的阻碍的原理而设计的，降低单向气流形成紊流的程度，有效地保障原来的气流方向，最大限度的提高洁净室的洁净度，保护加工器件不受到微粒的影响，提高产品质量。