[实用新型]等离子体反应器有效
| 申请号： | 201120372913.8 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN202231939U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张海洋;王新鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/03 | 分类号： | H05H1/03;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 反应器 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体反应器，包括：上部电极、下部电极和电源，所述下部电极和所述电源连接，所述上部电极与所述下部电极之间形成等离子体反应腔室，其特征在于，所述上部电极是中部外凸的曲面体。
2.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，所述上部电极左右对称。
3.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，所述上部电极是固定式电极。
4.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其特征在于，所述上部电极是可移动式电极。
5.根据权利要求1～4任一项所述的等离子体反应器，其特征在于，所述上部电极与所述下部电极之间的最小距离大于或等于所述上部电极与所述下部电极之间的最大距离的1/2。
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