[实用新型]加热器结构

说明书

技术领域

本实用新型提供一种加热器结构，尤指一种用以加热晶圆的加热器结构。

背景技术

    目前，在制作晶圆的制程当中，必须将晶圆放置在加热装置上，以可对晶圆进行加热，如图1与图2所示，为一般较常使用的加热器1，其主要是由一上板体11与一下板体12所组成，并在该上板体11与下板体12上均各设置有沟槽110与沟槽120，使加热线可放置于其中，且在晶圆放置于加热器1上后对加热线导通电流，使加热器1整体产生热度以对晶圆进行加热的动作，但是，在上板体11与下板体12结合时，必须准确地调整至沟槽110与沟槽120的相对位置，否则可能无法将加热线放置于其中，相当耗时费工，并且由于上板体11与下板体12结合后，透过高温烧结的方式结合，无法再次分离，而沟槽110与沟槽120位于内部位置，因此如果上板体11与下板体12发生龟裂或二者之间产生空隙，则无法进行修补或填补的动作，必须将加热器1整个丢弃，再者，上板体11与下板体12本身均具有一厚度，因此使加热线所产生的热度最后无法均匀的由上板体11与下板体12发散而出，导致晶圆无法均匀的受热。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种增加基板体的整体强度，以及使发热程度更佳的加热器结构。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是这样实现的：一种加热器结构，其包括有：一基板体，其一表面上设有沟槽；一覆盖体，嵌设于基板体的沟槽上，用以覆盖该沟槽，且该覆盖体的形态大小与沟槽相同；一发热线体，设置于基板体的沟槽内；其主要是将发热线体设置于沟槽内后，透过一覆盖体覆盖该沟槽，覆盖体与沟槽的形态大小相同，且与沟槽紧密结合。

进一步，基板体为石英材质所制成。

进一步，覆盖体为石英材质所制成。

进一步，中基板体的沟槽为一完整相通的形态。

进一步，覆盖体载嵌设于基板体的沟槽上，通过高温烧结的方式使二者紧密结合。

本实用新型达到的技术效果如下：本实用新型是由一基板体、一覆盖体与发热线体所组成，将发热线体设置于沟槽内后，透过一覆盖体覆盖该沟槽，因此以保护发热线体，而其中的覆盖体由于与沟槽的形态大小相同，因此除了可与沟槽结合更为紧密外，也同时达到增加基板体的整体强度，以及使发热程度更佳平均的目的。

附图说明

图1为公知加热器的立体外观图。

图2为公知加热器的立体分解图。

图3为本实用新型加热器的立体外观图。

图4为本实用新型的立体分解图。

图5为本实用新型的局部示意图。

图6为本实用新型的较佳实施例图。

【主要组件符号说明】

加热器．．．．．1

上板体．．．．．11

沟槽．．．．．．110

下板体．．．．．12

沟槽．．．．．．120

加热器．．．．．2

基板体．．．．．3

沟槽．．．．．．30

覆盖体．．．．．4

发热线体．．．．5

供电装置．．．．6 。

具体实施方式

为达成上述的功效与目的，以及所采用的手段、技术与构造，以下通过图式说明本实用新型进行说明。

请参阅图3、图4、图5与图6所示，为本实用新型的立体外观图、立体分解图、局部示意图与较佳实施例图，由图中可清楚看出，加热器2主要包括有：一基板体3，由石英材质所制成，其一表面上设有沟槽30，且该沟槽30为一完整相通的状态；一覆盖体4，由石英材质所制成，嵌设于基板体3的沟槽上30，用以覆盖该沟槽30，且该覆盖体4的形态大小与沟槽30相同；一发热线体5，设置于基板体3的沟槽30内；其主要是将发热线体5设置于基板体3的沟槽30内后，将覆盖体4覆盖于沟槽30上，借此以保护发热线体5，并将发热线体5导接一供电装置6，透过供电装置6对发热线体5导通电力使发热线体5发热，最后发散至基板体3上，使基板体3整体发出热度，以达到对放置于加热器2上的晶圆进行加热的目的。