[实用新型]一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽

权利要求书

1.一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：包括槽体和升降平台，该槽体内设有数个晶圆承载平台，每个晶圆承载平台上设有数个等距离排布的凹槽；该槽体的外壁上设有两组超声振子，该两组超声振子相对设置，位于承载平台的两侧；所述升降平台包括支撑升降部分和台面部分，该台面部分的台面上设有用来承载花篮的定位凹槽。

2.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述晶圆承载平台的横截面为弧形。

3.根据权利要求1或2所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述晶圆承载平台的凹槽的纵截面为Y型。

4.根据权利要求1或2所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述每个晶圆承载平台上设有25个凹槽。

5.根据权利要求4所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述晶圆承载平台上的凹槽适于承载4寸、5寸、6寸和8寸的晶圆。

6.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述槽体上部设有溢流口，下部设有进液口和排液口。

7.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述槽体的有效深度为16英寸。

8.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：所述超声振子的工作频率为18～200KHz。