[实用新型]单晶硅棒弧面抛光轮有效
| 申请号: | 201120347925.5 | 申请日: | 2011-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN202240961U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
| 发明(设计)人: | 翟孙华 | 申请(专利权)人: | 浙江好亚能源股份有限公司 |
| 主分类号: | B24D13/10 | 分类号: | B24D13/10 |
| 代理公司: | 杭州浙科专利事务所 33213 | 代理人: | 吴秉中 |
| 地址: | 314413 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶硅 棒弧面 抛光轮 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种弧面抛光轮,具体为一种单晶硅棒弧面抛光轮。
背景技术
现有的单晶硅棒进行抛光时,通过砂轮对其四个面进行抛光,这样可以达到抛光的效果;而对于单晶硅棒的四个棱的抛光,却达不到像对四个面那样抛光的效果,一般抛光的效果较差,因此设计一种能够对单晶硅棒的四个棱进行抛光的装置非常必要。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒弧面抛光轮的技术方案。
所述的单晶硅棒弧面抛光轮,其特征在于包括不锈钢连接圈、铝合金毛刷固定片和毛刷,所述的毛刷设置在铝合金毛刷固定片上,铝合金毛刷固定片内设置不锈钢连接圈。
所述的单晶硅棒弧面抛光轮,其特征在于所述的铝合金毛刷固定片设置为6片可拆卸结构,相邻的铝合金毛刷固定片以不锈钢连接圈为载体,并通过螺栓将铝合金毛刷固定片与不锈钢连接圈相连,毛刷分别设置在每个独立的铝合金毛刷固定片上。
所述的单晶硅棒弧面抛光轮,其特征在于所述的相邻的铝合金毛刷固定片的连接面设置为Z状。
所述的单晶硅棒弧面抛光轮,其特征在于所述的毛刷采用碳刷纤维材料制成。
与现有技术相比,本实用新型结构简单,通用性强,操作简单,可直接安装在单晶硅滚磨机的沙盘上,二次利用滚磨机,分享滚磨机的高精度,高效率,通过弧面抛光,有效地去除了滚磨机对单晶硅棒四个棱工作后的表面损伤层,如“小崩边、小硅落”,提高了成品单晶硅片的出片率和硅片质量,可提高0.5%的出片率,可增加经济效益3400元/吨。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图中:1-不锈钢连接圈,2-螺栓,3-毛刷,4-铝合金毛刷固定片。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型做进一步说明:
单晶硅棒弧面抛光轮,包括不锈钢连接圈1、铝合金毛刷固定片4和毛刷3,毛刷3采用碳刷纤维材料制成(德国进口),毛刷3设置在铝合金毛刷固定片4上,铝合金毛刷固定片4内设置不锈钢连接圈1,使用时,只需将不锈钢连接圈1设置在滚磨机的转轴上,就可以与滚磨机的砂轮一起对单晶硅棒进行抛光处理,该抛光能够轮实现对单晶硅棒的弧面多点位进行抛光,最终能够使抛光面达到镜面的效果。
可以将铝合金毛刷固定片4设置为6片可拆卸结构,相邻的铝合金毛刷固定片4以不锈钢连接圈1为载体,并通过螺栓2将铝合金毛刷固定片4与不锈钢连接圈1相连,毛刷3分别设置在每个独立的铝合金毛刷固定片4上,这样方便拆卸和更换局部的毛刷;可以将相邻的铝合金毛刷固定片的连接面设置为Z状,方便相邻的铝合金毛刷固定片4与不锈钢连接圈1的连接。
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