[实用新型]一种材料表面低温等离子体改性装置

权利要求书

1.一种材料表面低温等离子体改性装置，所述装置包括抽气口、腔体内壁电极、内电极、内电极绝缘固定座、样品托盘、样品架支撑导轨、喂气口以及等离子体发生电源组成，其特征在于，等离子体处理腔由腔体内壁电极、内电极组成，腔体内壁电极接地；样品架支撑导轨固定在内电极上，样品放置于样品架上，样品托盘由样品架支撑导轨支撑，样品位于电极组以外的内电极围绕的空间内。

2.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，内电极真空腔内形状相同，彼此间间距在2mm---50mm之间。

3.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，内电极由内电极绝缘固定座固定于真空室内壁上，内电极固定座为绝缘材料使内外电极绝缘。

4.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，内电极平面上开有若干内电极透气孔，以利于气体分布和各种活性粒子的流通。

5.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，样品放置于样品托盘上。

6.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，样品托盘上开有若干透气孔。

7.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，样品托盘放置于样品架支撑导轨上，样品架支撑导轨固定在真空室内壁上。

8.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于， 样品架支撑导轨由绝缘材料制作。

9.根据权利要求1所述的一种材料表面低温等离子体改性装置，其特征在于，真空腔上设有抽气口和喂气口，分别位于真空腔的底部和顶部。