[实用新型]复刀口风刀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及可应用于大面积基板吹拂干燥制程的风刀装置。

背景技术

清洗平板显示组件用基板的制程主要以向基板表面喷射(供给)清洗液(例如去离子水)的方式来进行，所述制程是在具备如流体喷射用喷嘴的清洗单元的清洗装置内进行，且所述清洗置为气室形状。如此，用所述清洗装置对基板进行清洗时，重要的是去除基板上的残留清洗液的同时要对基板进行干燥处理。例如在进行清洗制程后，若基板上存在残留清洗液，则其表面会产生水斑(water spot)，这有可能成为降低清洗质量的因素。

因此，进行基板清洗制程同时，需要进行干燥制程，这种干燥制程大部分通过风刀吹出干燥空气，从而吹去基板上的残留清洗液来进行的，这方式是所属技术领域中已被广泛知晓的技术。

现有技术的风刀具有单一出气口，其对基板表面进行吹干程序时，是以倾斜一角度的状态使气体吹向板件表面以将所残留的水份彻底排除；由于吹出的气流速度极快，以致于会在出气口的锐角侧产生真空效应，进而将基板吸起和风刀刀体接触，可能因而对基板造成刮伤。

中国专利CN101639316号则提供一种气刀装置，该气刀装置在一主体设置有空气流入口、第一气室与第二气室，空气流入口供给空气进入第一气室与第二气室，再从第一吐出口与第二吐出口喷出高压空气，基板被输送的过程中，依序被第一吐出口与第二吐出口所喷出的高压空气吹拂；即，中国专利CN101639316号提供一种具有双出气口的风刀，企图解决前述现有技术单一出气口可能产生真空效果而吸起基板的问题。

可是，中国专利CN101639316号虽然可以调整吹出的风速大小，但因为受到结构本身的限制，却无法单独针对各别出气口的风速进行调整，以致于两个出气口均仅能同时吹出相同的风速；此外，其两个出气口均由同一进气口供给空气，以致于在特别需要时，无法在两个出气口分别供应不同温度的高压空气。

实用新型内容

本实用新型的目的，在于解决现有技术具有两个出气口的风刀装置，无法单独针对各别出气口的风速进行调整，仅能同时吹出相同风速，且无法在两个出气口分别供应不同温度的高压空气的问题。

本实用新型的特征，是在风刀装置设置至少二个独立的刀体，每一个刀体各自具有独立的进气口与出气口，且每一刀体可以被单独调整出气量与出气速度，藉此，可以依实际需要而调整不同出气口的吹气速度，以及在不同的出气口吹出不同温度的气体。

基于此，本实用新型提供的复刀口风刀装置，包括有至少二刀体与至少一隔板，每一刀体具有连通的一进气口、一气室、一整流区与一出气口，该隔板设于两该刀体之间，该隔板与刀体之间构成气流通道，该刀体与隔板利用可调整的固定单元予以固定，并可藉由调整固定单元以调整每一气流通道与该每一出气口的尺寸大小，以控制由该每一出气口排出的风量而可调整吹出的气体速度及控制由该每一出气口排出的风量。

更进一步的，本实用新型在刀体与隔板分别设有至少一对应的贯穿孔与螺孔，该固定单元则为一个螺丝，藉由螺丝穿过刀体的贯穿孔后再锁入隔板的螺孔而使刀体和隔板固定，并藉由旋转螺丝以调整刀体和隔板之间的气流通道与出气口的尺寸大小。

本实用新型的多个刀体配合隔板组合后，多个出气口依对待吹物品的距离依序由近至远排列。

和现有技术具有两个出气口的风刀装置相较之下，本实用新型除了同样可以消除单一出气口在锐角侧产生的真空效应外，还可以依实际的需要分别调整各别出气口的气体吹出速度，以及能分别供应及吹出不同温度的高压气体。

附图说明

图1为显示本实用新型风刀装置的前视平面示意图；

图2为图1的A-A剖面示意图；

图3为图2的组件组合关系平面分解图。

具体实施方式

以下配合附图对本实用新型的实施方式做更详细的说明，以使熟悉本领域技术人员在阅读本说明书后能据以实施。