[实用新型]热释电红外敏感元及热释电红外探测器

权利要求书

1.一种热释电红外敏感元，其特征在于：它包括：

上电极，采用真空蒸镀工艺蒸发沉积在钽酸锂薄膜层上表面，用于吸收红外辐射热能，并用于引出热释电响应信号；所述上电极采用金或铂或铬或镍铬合金为电极材料；

钽酸锂薄膜层，设置在所述上电极和下电极之间，将所述上电极吸收的红外辐射热能以及将环境振动和环境温度波动通过所述钽酸锂薄膜的热释电效应转换为热释电响应信号；

下电极，采用真空蒸镀工艺蒸发沉积在所述钽酸锂薄膜层下表面，用于引出热释电响应信号。

2.根据权利要求1所述的热释电红外敏感元，其特征在于：所述上电极采用铬或镍铬合金为电极材料，所述上电极的厚度为100～500埃；所述下电极采用银为电极材料，所述下电极的厚度为1500～3000埃；所述钽酸锂薄膜层的厚度是5～15微米。

3.一种热释电红外探测器，其特征在于：它包括权利要求1—2任一项所述的热释电红外敏感元、热释电补偿敏感元、前置放大器场效应管、阻抗匹配电阻、管帽、设置在所述管帽顶部的红外滤光窗、设置在所述管帽底部的管座、三个设置在所述管座上的管脚、封装在所述管帽内的电路板、两个安装在所述电路板上的支撑体，其中，所述热释电红外敏感元和所述热释电补偿敏感元的上电极分别连接所述前置放大器场效应管的栅极，所述热释电红外敏感元和所述热释电补偿敏感元的下电极接地，所述阻抗匹配电阻的两端并联在所述热释电红外敏感元的上电极和下电极之间；所述前置放大器场效应管和所述阻抗匹配电阻设置在所述电路板上，三个所述管脚分别连接所述热释电红外敏感元的下电极、所述前置放大器场效应管的漏极和源极，所述热释电红外敏感元和所述热释电补偿敏感元采用SMT自动贴片工艺分别设置在两个所述支撑体上。

4.根据权利要求3所述的热释电红外探测器，其特征在于：所述支撑体是铁氧体。