[实用新型]多晶硅尾气压缩机防泄漏结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种活塞式气体压缩机，特别是涉及一种用于多晶硅行业的尾气压缩机的防泄漏结构。

背景技术

目前，在多晶硅行业用尾气压缩机中，气缸内的压缩介质是混合气体，主要压缩介质是氢气，此外，还包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢等，由于压缩介质的特殊性质，使得一旦压缩腔体中的压缩介质泄漏到机身内，就会使机身内的各处润滑油与压缩介质发生反应变质，生成粘稠的胶状物质，堵塞油过滤器，影响传动机构的润滑，进而影响到整个尾气压缩机的正常运转。

现有的尾气压缩机的防泄漏结构，是在气缸与机身之间设置填料结构，并在填料与活塞杆之间设置浮动密封环进行动密封，然而，由于活塞杆一直在运动，活塞杆与填料之间的动密封不能保证绝对不泄漏介质，一旦气缸内压缩介质泄漏至机身内，就会带来如上所述的一系列不利后果。因此，采取措施尽可能地减少气缸内压缩介质的泄漏，并对那些不可避免的泄漏介质使其在进入机身前及时排放掉，成为多晶硅行业对尾气压缩机防泄漏结构非常关注的技术问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种结构简单、具有较好密封效果以防止压缩介质往机身侧泄漏的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构。

本实用新型一种多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，包括气缸、机身，气缸内活塞通过活塞杆与机身内连杆相连，还包括双隔室中间座，双隔室中间座位于气缸与机身之间，包括气缸侧隔室和机身侧隔室，上述两隔室通过隔板分隔，气缸侧隔室与气缸固定连接，机身侧隔室与机身固定连接，其中气缸侧隔室与气缸连接处上穿过活塞杆的位置设有主填料，隔板上穿过活塞杆的位置设有中间填料，机身侧隔室与机身连接处上穿过活塞杆的位置设有挡油器填料，所述主填料、中间填料和挡油器填料均通过填料盒与双隔室中间座固定连接，填料盒上开设有使活塞杆从中穿过的通孔，填料盒一端设有压盖，主填料、中间填料和挡油器填料均通过至少两组浮动密封环与活塞杆动密封。

本实用新型与现有技术的不同之处在于，在气缸与机身之间增设了双隔室中间座结构，并分别在其与气缸连接处、隔板处、与机身连接处的活塞杆穿过位置设置了密封填料，从而达到使气缸与机身首先从空间上隔离，并在空间隔离的同时逐级密封，由此使得气缸内压缩介质与机身之间达到较好的密封效果，防止压缩介质泄漏至机身内污染润滑油，同时延长了压缩机防泄漏结构的使用寿命。

本实用新型多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述主填料通过至少四组浮动密封环与活塞杆动密封，主填料内设置气室和充气空腔，气室与充气空腔分别位于两组浮动密封环之间，且环绕活塞杆并与活塞杆的外表面相接触，充气空腔设于气室右侧，所述气缸侧隔室上开设有第一排气口和第一高压进气口，气室通过管路与第一排气口相连通，充气空腔通过管路与第一高压进气口相连通，第一高压进气口的进气端连接0.15-0.2Mpa的氢气进气管道。采用上述结构，是为了将气缸内泄漏的压缩介质在其泄漏至主填料内时通过第一排气口排放出去，并在主填料处增加高压氢气阻塞密封装置，阻止泄漏介质继续往右侧泄漏，使用氢气高压阻塞，是为了避免其他气体如氮气进入汽缸影响用户的加工工艺。

本实用新型多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述气缸侧隔室或机身侧隔室上开设有第二高压进气口，第二高压进气口与位于中间填料与活塞杆之间且在两组浮动密封环之间的间隙通过管路相连通。第二高压进气口的进气端连接0.15-0.2Mpa的氮气进气管道。采用这种结构，是为了在中间填料处增加一级高压氮气阻塞密封，进一步加强整个气封装置的密封性能，阻止压缩介质经中间填料进一步往机身侧泄漏。

本实用新型多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述机身侧隔室上开设有第三高压进气口，第三高压进气口与位于挡油器填料与活塞杆之间且在两组浮动密封环之间的间隙通过管路相连通，第三高压进气口的进气端连接0.15-0.2Mpa的氮气进气管道。采用这种结构，是为了在挡油器填料处增加一级高压氮气阻塞密封，进一步加强整个气封装置的密封效果，阻止泄漏至此的压缩介质往机身内泄漏。