[实用新型]真空晶棒切割机有效
| 申请号： | 201120285998.6 | 申请日： | 2011-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN202241642U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 刘宝成 | 申请（专利权）人： | 河南恒昌电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河南省许昌市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 切割机 | ||
【说明书】：
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是一种晶棒切割机，晶棒切割机是将晶棒加工成晶粒的设备。
背景技术
晶棒切割机具有晶棒固定板和切割线，在现有技术中，所述的晶棒固定板和切割线是裸露的，在裸露情况下进行切割，具有晶粒容易氧化的缺点，影响了产品的质量。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种晶粒质量更高、表面无氧化现象的真空晶棒切割机。
本实用新型的技术方案是这样实现的：真空晶棒切割机，包括晶棒固定板和切割线，其特征是：所述的晶棒固定板和切割线外面开具有一个密闭的罩体，所述的罩体具有活动门，所述的罩体还具有外接的管道。
进一步的讲，所述的罩体侧部是玻璃。
本实用新型的有益效果是：这样结构的真空晶棒切割机具有使晶粒质量更高、表面无氧化现象的优点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
其中：1、晶棒固定板 2、切割线 3、罩体 4、活动门 5、管道。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图1所示，真空晶棒切割机，包括晶棒固定板1和切割线2，其特征是：所述的晶棒固定板1和切割线2外面开具有一个密闭的罩体3，所述的罩体3具有活动门4，所述的罩体3还具有外接的管道5。
进一步的讲，所述的罩体侧部是玻璃。
使用时，管道接抽真空机，使加工在真空的情况下工作，具有本实用新型的目的。
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