[实用新型]漩涡消除器及供液装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种漩涡消除器及供液装置。

背景技术

目前，在半导体生产中往往会用到各种不同的供液装置，如CMP(化学机械研磨，Chemical Mechanical Polishing)工艺中所需的各种不同型号的研磨液供液装置。

请参阅图1，图1是现有的供液装置的结构示意图，以研磨液供液装置为例，由图1可见，该供液装置包括一储液桶110和一供应管120，所述供应管120经所述储液桶底部的出液口111和所述储液桶110相连通。

在使用过程中发现，当储液桶110内的研磨液处于低液位供应时，非常容易出现漩涡。而当漩涡产生时，空气就容易被漩涡卷入供应液内而直接以竖直向下的方式抽入供应管120内，使得供往研磨机台的研磨液中夹带大量气泡，导致在使用的研磨液流量不稳定，最终影响正在研磨的产品的质量，严重时就会导致大量产品报废。

由此可见，漩涡的产生会带来相当大的危害，因此，如何提供一种可以消除供液过程中产生的漩涡的漩涡消除器及供液装置是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种漩涡消除器及供液装置，可以减弱甚至消除漩涡的产生，避免空气被带入供应液中影响生产工艺。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种漩涡消除器，设于储液桶和供液管之间，所述储液桶的底部设置有出液口，所述漩涡消除器包括一根或多根弯管，所述弯管的一端经所述储液桶的出液口与所述供液管相连，所述弯管的另一端伸入所述储液桶内部。

在上述的漩涡消除器中，所述漩涡消除器包括多根弯管，所述多根弯管绕所述出液口的中心线均匀分布。

在上述的漩涡消除器中，还包括一圆形接口，所述多根弯管和所述供应管相连的那一端集成设于所述圆形接口。

在上述的漩涡消除器中，所述弯管包括第一管和第二管，所述第一管和所述第二管相连，所述第一管的一端经储液桶的底部出液口与所述供液管相连，所述第二管位于所述储液桶内。

在上述的漩涡消除器中，所述第一管和所述第二管之间的夹角为60-120度。

在上述的漩涡消除器中，所述第一管和所述第二管之间的夹角为90度。

本实用新型还公开了一种供液装置，包括储液桶和供液管，所述储液桶和供液管之间设有如上的漩涡消除器。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的漩涡消除器和供液装置，通过在储液桶底部的出液口设置一根或多根弯管，位于储液桶内的液体(即供应液)必须要经过弯管才能流入供应管，由于弯管具有一定的弯曲度，因而，通过弯管可以改变储液桶内液体流出时的流向，使得储液桶内液体可以以相对水平的流向流入弯管，再经弯管流出，避免了现有技术出现的液体从储液桶直接以竖直向下的方式流入供应管，从而，可以有效减弱甚至避免漩涡的产生，防止空气被夹带到液体中，保证所供应的液体质量，确保生产的稳定性。

附图说明

本实用新型的漩涡消除器由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的供液装置的结构示意图。

图2为本实用新型的实施例一的供液装置的结构示意图。

图3为本实用新型的实施例二的供液装置的结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的漩涡消除器及供液装置的作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例一

请参阅图2，图2为本实用新型的实施例一的的结构示意图。