[实用新型]一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆有效

专利信息
申请号: 201120251956.0 申请日: 2011-07-15
公开(公告)号: CN202150681U 公开(公告)日: 2012-02-22
发明(设计)人: 莫丹君;颜卫兵 申请(专利权)人: 浙江宏业新能源有限公司
主分类号: H02G15/04 分类号: H02G15/04
代理公司: 台州市方圆专利事务所 33107 代理人: 蔡正保;张智平
地址: 317502 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 坩埚 上升 旋转 系统 中的 水冷 电缆
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域,涉及一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆。

背景技术

TDR-90单晶炉上的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆在其接头出一般采用水密封结构,具体结构是在端面采用O型圈密封并继续用螺母锁紧。由于电缆为柔性材料,会在径向微动中造成间隙而出现微漏。

针对上述的问题,中国专利申请号为200820222131.4名称为“一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆接头”公开了如下结构:该单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆包括线圈接头、螺母、接管和接头,接头的另一端与线圈接头之间设置接管和螺母,螺母与线圈接头外壁的细螺纹配合连接,固定接管与电缆接头。电缆接头与线圈接头之间为设置O形密封圈,两者之间的密封面为锥面。该专利虽然用锥面结构和O形密封圈来是电缆接头和线圈接头之间形成轴向和径向密封,但是由于螺母需要同时固定接管和O形密封圈,接管和线圈接接头之间又是锥形面,因此对螺母的制作工艺就要求很高,容易导致螺母在压紧接管时却没有压紧O形密封圈,或者压紧O形密封时却没有压紧接管。

发明内容

本实用新型针对现有的技术存在上述问题,提出了一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆,该单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆能够使电极接头和接管形成轴向和径向的双重密封,防止微漏情况的产生。

本实用新型通过下列技术方案来实现:一种单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆,包括电极接头和与电极接头连接的接管,所述的接管外套有螺母,该螺母和上述的电极接头之间通过螺纹相连接,其特征在于,在接管外还套有O形密封圈,该O形密封圈的内径与接管的外径相配合,并在螺母的作用下压紧在电极接头的端面上和产生径向变形后压紧在接管的周面上。

本单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆通过螺母将O形密封圈压紧后产生变形使O形密封圈的轴向接触面积增大,径向上的内径缩小,使得套在接管外侧并接管相配合的O形密封圈在轴向和径向上加强密封,避免产生微漏的情况,提高了密封效果。

在上述的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆中,所述的O形密封圈的内径略小于或者等于接管的外径。这种形状的O形密封圈套在接管上后即已形成密封效果,因此是要使用适量的锁紧力即可。

在上述的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆中,所述的O形密封圈和螺母之间还设有压紧片。通过压紧片将O形密封圈压紧在电极接头的端面上。

在上述的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆中,所述的接管包括导电金属管和套在导电金属管外的绝缘管,所述导电金属管的端部伸出绝缘管外且与电极接头相连接。在导电金属管内可以通水进行冷却,而绝缘管对导电金属管进行绝缘。

在上述的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆中,所述的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆中还包括水冷管接头,该水冷管接头的一端穿过电极接头和与接管连通。通过水冷管接头进行水冷循环。

现有技术相比,本单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆采用内径与接管外径相配合的O形密封圈,使得螺母将O形密封圈压紧后产生轴向和径向的变形,大大的增强了密封效果,密封性能好,有效防止了微漏的情况。同时螺母不需要很大的锁紧力,减少了对O形密封圈的损坏。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中,1、电极接头;2、接管;021、导电金属管;022、绝缘管;3、水冷管接头;4、螺母;5、O形密封圈;6、压紧片。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例,并结合附图对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示的是本实用新型的单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆,包括电极接头1和接管2,电极接头1是用于一端是用于与其他电器连接,另一端为圆筒状且与接管2连接,接管2包括导电金属管021和套在导电金属管021外的绝缘管022,接管2插接在电极接头1内,导电金属管021的端部伸出绝缘管022外且与电极接头1相连接,电极接头1和导电金属管021之间部分被绝缘管022隔离。单晶炉的坩埚上升及旋转系统中的水冷电缆中还包括水冷管接头3,该水冷管接头3的一端穿过电极接头1与接管2连通。通过水冷管接头3和导电金属管021进行水冷循环。在导电金属管021实现导电,而绝缘管022对导电金属管021进行绝缘。

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