[实用新型]平板集热条带卧式镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别是一种平板集热条带卧式镀膜机。

背景技术

现在国内市场最常见的太阳能平板集热器可用多种方法来制备，如喷涂方法、化学方法、电化学方法、真空蒸发方法、真空磁控溅射方法等。方法很多，整体生产质量水平不高。国外先进的是采用真空磁控溅射镀膜方法镀制太阳能平板集热条带。而真正做到采用真空磁控溅射镀膜方法连续镀制高质量太阳能平板集热条带产业化在我国目前还是一个空白！高质量的平板集热器条带仍然依赖从国外进口。作为太阳能热利用的核心吸热元件，集热板表面的选择性吸收膜层的镀制质量与性能以及耐气候性，是决定整个太阳能热利用的关键技术。而平板集热条带镀膜方法及镀膜机又是实现这项关键技术的关键。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构合理、质量可靠、使用维护方便的平板集热条带卧式镀膜机，以满足镀制高质量太阳能平板集热器条带吸收膜层的需要。

本实用新型的技术方案是：一种平板集热条带卧式镀膜机，由放卷室、多个工艺模块室和收卷室三大部分串联组成，工艺段模块室为标准的、具有可互换性的真空箱体。

本实用新型进一步的技术方案是：放卷室位于本实用新型左端，其一面与镀膜工艺段的第一功能模块室连接，并通过过带窄缝相通，其前面有一个长方型密封门，便于放卷室内各部件安装、维护及卷材的上料，长方型密封门包括门架、电机、减速机、滚轮、轨道、支板和支柱，长方型密封门的顶部通过连接块与门架的底部连接，电机、减速机和滚轮装在门架上，滚轮位于轨道上，并通过减速机与电机联结，轨道的一端通过支板安装在放卷室上，另一端通过支柱坐落在地基上，长方型密封门与放卷室的贴合处有密封圈；放卷室内从左到右依次安装有卷筒、张力控制装置和纠偏机构，卷筒采用斜楔倒拉式胀缩卷筒，用螺纹传动胀缩，胀缩范围Ф480~Ф520mm，胀缩卷筒与真空旋转密封轴为同轴整体结构，通过法兰密封安装在放卷室的后法兰上，真空旋转密封轴的室外端连接附加减速箱，并与带另一减速器的交流同步电机连接，胀缩卷筒与真空旋转密封轴在室外组成一体，从室体后壁法兰孔（大于Ф480mm）插入放卷室内，真空旋转密封轴法兰与室体法兰螺栓压紧，胀缩卷筒便呈悬臂辊安装在放卷室的后壁上；收卷室的大小尺寸与放卷室一样，两者左、右对称，不同之处是张力控制装置和纠偏机构左、右顺序对调，收卷室增加一套在线光学性能（检测α和εn）检测装置。

本实用新型再进一步的技术方案是：镀膜工艺段由十个工艺段模块室组成，第一工艺段模块室为离子源刻蚀室，该室底装一个或多个条型离子源，完成真空状态下的刻蚀清洗，以保证镀膜与基材的结合牢固；第二工艺段模块室为高真空“阱” ——气体隔离室，以消除相邻工艺段模块室的窜气，达到各工艺段模块室的气氛独立控制的要求，相邻工艺段模块室返扩散的气体，通过该室迅速排出，如同气体“陷阱”，确保镀膜质量；第三工艺段模块室为镀膜室，以卷铝带或无氧铜卷带作基材，镀超低发射比高选择性吸收膜，在室体下盖上安装有两个向上溅射的矩形平面磁控溅射靶，或者在室体后壁安装两个磁控溅射圆柱靶，DC溅射电源按靶数配备；第四工艺段模块室与第二工艺段模块室相同；第五、六、七工艺段模块室与第三工艺段模块室相同；在第六工艺段模块室与第七工艺段模块室之间为机列速度辊室，该室内主要包括前、后导向辊和有动力的速度辊，以保证速度辊有160°-170°包角，获得足够的摩擦力，确保辊速度与带速的一致性，也就是机列速度达到工艺所需的设定线速度；速度辊是电机通过减速机并经室体后壁上的真空旋转密封轴将动力传递给速度辊的，机列速度动力辊稳定控制条带设定行进速度，收、放卷则通过张力控制与机列速度相匹配，行进精度更高质量更有保证；当检测张力大于设定张力时放卷机则加速、收卷机则减速；反之，当检测张力小于设定张力时放卷机则减速、收卷机则加速，以保证条带的行进速度与机列速度动力辊设定的行进速度相一致；第八工艺段模块室与第二工艺段模块室相同；第九、十工艺段模块室与第三工艺段模块室相同。

本实用新型采用如上技术方案，与现有技术相比，具有如下特点：

1、标准的模块式结构可以根据工艺要求进行真空室功能拼装与增减，有利于满足不同工艺所需要求，各功能室也可作拼装调整，该结构新颖、简单、实用性强。

 2、设置高真空“阱”，消除相邻工艺室的窜气，达到各功能室的气氛独立精确控制，确保镀膜质量。

3、机列速度动力辊稳定控制条带设定行进速度，收、放卷则通过张力控制与机列速度相匹配，行进精度更高质量更有保证。

4、行进中纠偏机构纠偏精度高、安装维护方便、质量可靠；