[实用新型]抛光头组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学机械抛光领域，特别涉及一种方便搬运的抛光头组件。

背景技术

在集成电路的制造过程中，随着特征尺寸的缩小和金属互连层数的增加，对晶圆表面平整度的要求也越来越高，化学机械抛光是目前最有效的全局平坦化技术。化学机械抛光是将晶圆由旋转的抛光头夹持，并将其以一定压力压在旋转的抛光垫上，由磨粒和化学溶液组成的抛光液在晶圆和抛光垫之间流动，晶圆表面在化学和机械的共同作用下实现平坦化。

在现有的抛光设备中，抛光头需要经常维护，以更换耗材等，然而由于抛光头较重，且其形状决定了在维护时，手很难用上力，搬运起来有较大的危险性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决上述技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种具有结构简单，搬运方便的抛光头组件。

根据本实用新型实施例的抛光头组件，包括抛光头、连接部和搬运件：所述抛光头具有第一圆盘体和设在所述第一圆盘体的上表面上的第二圆盘体，其中所述第二圆盘体的直径小于所述第一圆盘体的直径；所述连接部设在所述第二圆盘体的上表面上；所述搬运件可拆卸地与所述连接部相连。

根据本实用新型实施例的抛光头组件，在需要对抛光头进行搬运时，可以安装搬运件对抛光头搬运，抛光组件具有结构简单，搬运方便的优点。

另外，根据本实用新型上述实施例的抛光组件还可以具有如下附加的技术特征：

所述连接部为设在所述第二圆盘体上表面上的螺孔，所述搬运件通过螺钉与所述螺孔相连。

所述搬运件上设有分别与所述螺孔对应的通孔，所述螺钉穿过所述通孔配合到所述螺孔内。

所述螺孔和所述通孔均为两个且分别一一对应。

所述两个螺孔以所述第二圆盘体的中心沿径向对称。

所述第一圆盘体与所述第二圆盘体同轴心。

所述搬运件为杆状。

所述搬运件为圆管。

所述搬运件的长度大于所述第一圆盘体的直径。

所述搬运件的长度大于所述第二圆盘体的直径且小于第一圆盘体的直径。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的设置有连接部的抛光头得结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的搬运件的结构示意图；和

图3是根据本实用新型实施例的抛光组件的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的抛光头组件。

如图1-3所示，根据本实用新型实施例的抛光组件可以包括抛光头1、连接部2和搬运件3。

具体地，抛光头1可以具有第一圆盘体11和设在第一圆盘体11的上表面上的第二圆盘体12，其中第二圆盘体12的直径小于第一圆盘体11的直径。连接部2设在第二圆盘体12的上表面上。搬运件3可拆卸地与连接部2相连。需要说明的是，搬运件3可以在需要搬运抛光头1时，将搬运件3与抛光头1连接。由此，在抛光头1工作时，搬运件3对抛光头1无影响。在需要搬运抛光头1时，使抛光头1的搬运更加方便。