[实用新型]单晶炉防漏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶炉防漏装置。

背景技术

单晶炉在高温化料后，当因为一些不可见因素引起漏硅时，大量硅液会漏至炉体和真空管道，这时高温硅液会烧坏真空管道及管道波纹管，漏至炉体外，造成烧坏循环水管或者电气设备的后果，循环水管一旦烧坏，水流会四处喷射。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种单晶炉防漏装置，在发生漏硅时，承接漏出的硅料，保护循环水管或者电气设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶炉防漏装置，包括防漏箱体和安装件，防漏箱体通过安装件悬挂在单晶炉的真空管道和管道波纹管下方。

防漏箱体为不锈钢材料，在防漏箱体内铺设防高温隔热纤维板。

本实用新型的有益效果是：有效的保护了单晶炉内的其它设备的正常运行。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；

图1是本实用新型的防漏箱体安装在管道波纹管下方的结构示意图；

图2是本实用新型的防漏箱体安装在真空管道下方的结构示意图；

图中，1.防漏箱体，2.安装件，3.真空管道，4.管道波纹管。

具体实施方式

如图1和2所示，一种单晶炉防漏装置，包括防漏箱体1和安装件2，防漏箱体1通过安装件2悬挂在单晶炉的真空管道3和管道波纹管4下方。

防漏箱体1为316L不锈钢材料，厚3mm，在防漏箱体1内铺设防高温隔热纤维板。