[实用新型]改良的真空室角阀

权利要求书

1.一种改良的真空室角阀，其特征在于，该角阀包括：气缸（11），其固定于角阀体（10）上；进气口（19），其用于与真空室密封连接；抽气口一（14），其用于与外部机械泵密封连接；抽气口二（18），其作为分子泵（17）的出气口；以及密封片（15），其通过活动接头（16）安装于所述活塞杆（12）的顶端，该密封片（15）通过所述活塞杆（12）的压力可以密封住所述分子泵（17）的进气口；其中，所述活动接头（16）包括：连接槽（21），其位于所述密封片（15）的中部；弧形接头（20），其固定于所述活塞杆（12）的顶端，该弧形接头（20）被卡在所述连接槽（21）中且所述弧形接头（20）与连接槽（21）之间留有空隙。

2.根据权利要求1所述的改良的真空室角阀，其特征在于，所述活动接头（16）中，所述连接槽（21）为顶端开口的长方体。