[实用新型]热偶柔性安装装置有效

专利信息
申请号: 201120204105.0 申请日: 2011-06-16
公开(公告)号: CN202166480U 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 孙少东;董金卫;赵星梅 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: G01K7/06 分类号: G01K7/06;G01K1/14;H01L21/00
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 100016 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 柔性 安装 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型属于热处理设备技术领域,涉及一种热偶的安装装置,具体涉及一种热偶柔性安装装置。

背景技术

热电偶是一种感温元件,与仪表配合使用,可用于温度测量,并把温度信号转换成热电动势信号,通过电气仪表转换成被测介质的温度。在石油化工以及其它化学工业等领域经常使用热电偶(或称为热偶)来测量管道中流体介质的温度。

热偶是一种易损件,而且,热偶的主体部分由稀有贵金属制成,造价高昂,其外壳多为绝缘材料,少数外层包裹有金属,在使用中极易造成折断等损坏。

在热处理设备中,很多情况下都需要用热偶来监测工艺温度,尤其在半导体处理设备上,高温、无污染等苛刻要求,对以陶瓷为外壳的热偶依赖很大。而热偶的使用方式通常都是从设备外部插入到设备内部热场中来使用,其使用寿命受安装方式及条件影响很大。现有的安装方式,都不能解决热偶在使用中非人为损坏的问题。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是:如何提供一种用于安装热偶的柔性装置,以解决热偶在使用中容易被损坏的问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种热偶柔性安装装置,包括:

热偶保护部件,具有能够容纳热偶的通孔,包括相互连接的第一部和第二部;

安装板,具有第一孔;

固定块,安装于所述安装板上,固定块上具有凹槽;所述第一部的形状与所述凹槽的形状相配合,以使得所述第一部能够在所述凹槽内活动,所述第二部穿过所述第一孔伸出到安装板的一侧,热偶柔性安装装置在使用时将通过该侧与热处理设备连接安装。

优选地,固定块上覆盖有热偶挡罩,热偶挡罩上具有用于安插热偶的第二孔,所述第二孔的尺寸小于所述第一部在所述凹槽内活动过程中外露部分的最大外形尺寸;所述的第二孔的尺寸大于热偶插入端的外形最大尺寸,同时还应该保证热偶安装后具有一定角度的活动量。

优选地,所述第一孔为长圆孔,以增加安装操作的容易性,同时也能够吸收各种误差。

优选地,所述热偶保护部件由绝缘材料或金属材料制成;固定块由绝缘材料制成;热偶挡罩和安装板由金属材料制成。

优选地,所述绝缘材料为烧结材料,所述金属材料为不锈钢材料。包括304(0Cr18Ni9)、316(0Cr17Ni12Mo2)、316L(00Cr17Ni14Mo2)、321(1Cr18Ni9Ti)等不锈钢;

优选地,所述烧结材料为陶瓷烧结材料或玻璃粉末烧结材料。

优选地,所述绝缘材料为SiC。

优选地,所述第一部具有能够使热偶保护部件随着与第二部接触的周围物体的移动而同向移动的外形。

优选地,所述第一部的形状为球形。

优选地,所述第二部的形状为圆柱体或长方体。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果在于:通过热偶保护部件将热偶包裹在其中,有效地保护了热偶免受损坏;通过热偶保护部件与固定块间的配合关系,使得热偶保护部件能够有一定角度的活动范围,这样可以最大限度地吸收来自外界的破坏力,进一步保护热偶,从而实现柔性安装热电偶;固定块上设置热偶挡罩,既固定了固定块又限制了热偶保护部件的轴向窜动。

附图说明

图1为本实用新型实施例的轴侧示意图;

图2为图1的剖面视图;

图3为根据本实用新型实施例的热偶保护部件轴侧示意图;

图4为根据本实用新型实施例的固定块轴侧示意图(图(a))及剖面视图(图(b));

图5为根据本实用新型实施例的安装板轴侧示意图;

图6为根据本实用新型实施例的热偶挡罩的轴侧示意图。

附图标记列表:

1、安装板;2、固定块;3、热偶挡罩;4、热偶保护部件

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

如图1所示,本实用新型实施例的安装装置包括:安装板1、固定块2、热偶挡罩3及热偶保护部件4。热偶保护部件4为陶瓷材料,可以满足高温,无金属粒子污染的工艺需求,高纯度陶瓷耐高温可达1000℃以上。

安装板1其上有长圆孔作为安装孔,在安装过程中起到调整安装位置、吸收各种误差的作用。如图4所示,固定块2中央有一球形凹槽,用来与热偶保护部件的第一部配合,热偶保护部件的第一部可以在此凹槽内摆动或转动。

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