[实用新型]超精密气浮丝杠结构

权利要求书

1.一种超精密气浮丝杠结构，包括丝杠(1)、套装在丝杠(1)上的左、右侧螺母(3、4)以及调整垫块(2)，其特征在于：

左侧螺母(3)通过螺钉紧固安装在调整垫块(2)的左侧，其外部为四棱柱形状，在左侧螺母(3)的内部设置有承载螺纹圈数为2n的梯形螺纹，n＝1，2，3，…，在梯形螺纹的每一圈承载螺纹面上均设置两个气囊(3c)，在螺母四棱柱的四个角上分别设置一个倒角(3e、3f、3g、3h)，每个倒角上设置n个节流器安装孔(3b)，每个节流器安装孔(3b)各与一个气囊(3c)相通，在每个节流器安装孔(3b)内安装有一个节流器(5)，在左侧螺母(3)上四个倒角中心面位置还分别设置一个进气孔(3a)，每个进气孔(3a)分别与一组对应的节流器安装孔(3b)相通；

右侧螺母(4)与左侧螺母(3)的结构相同，并通过螺钉对称紧固安装在调整垫块(2)的右侧；

调整垫块(2)安装在左侧螺母(3)和右侧螺母(4)之间，在调整垫块(2)上按上、中、下位分别设置有依次相互连通的三个进气孔(2a、2b、2c)，在调整垫块(2)两侧分别设置有与下进气孔(2c)相通的左分气环(2d)和右分气环(2e)，下进气孔(2c)通过左分气环(2d)和右分气环(2e)与左侧螺母(3)上的进气孔(3a)以及右侧螺母(4)上的进气孔连通。

2.根据权利要求1所述的超精密气浮丝杠结构，其特征在于：从近调整垫块(2)侧往外，左侧螺母(3)的奇数圈承载螺纹面上设置的两个气囊(3c)分别与四棱柱的上、下方倒角(3e、3g)上的各一个节流器安装孔(3b)相通，而偶数圈承载螺纹面上设置的两个气囊(3c)分别与四棱柱的两侧方倒角(3c、3f)上的各一个节流器安装孔(3b)相通；右侧螺母(4)上气囊与四棱柱上节流器安装孔的连通结构与左侧螺母(3)相同。

3.根据权利要求1所述的超精密气浮丝杠结构，其特征在于：节流器安装孔(3b)由相互连通的上端螺纹孔、中间节流器配合孔与下端小直径通孔组成，在上端螺纹孔入口处安装有一个密封堵头(6)，节流器(5)设置在中间节流器配合孔位置处，在中间节流器配合孔与节流器(5)之间装有O型密封圈。

4.根据权利要求1或3所述的超精密气浮丝杠结构，其特征在于：节流器(5)为一个下壁上设有节流薄壁(5a)的构件，在节流薄壁(5a)上设置有贯穿节流薄壁(5a)的规则微缝隙阵列(5b)。

5.根据权利要求1所述的超精密气浮丝杠结构，其特征在于：调整垫块(2)与左侧螺母(3)之间在左分气环(2d)内外两侧分别设置有O型密封圈，调整垫块(2)与右侧螺母(4)之间在右分气环(2e)内外两侧分别设置有O型密封圈。