[实用新型]籽晶切割夹具无效
申请号: | 201120124622.7 | 申请日: | 2011-04-13 |
公开(公告)号: | CN202053394U | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 赵体月;刘西诚;岳耀清 | 申请(专利权)人: | 济宁佳华电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 272400 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 切割 夹具 | ||
技术领域:
本实用新型属于切割机械技术领域,更具体的说是一种单晶硅晶体生长过程中使用的籽晶的切割工具。
背景技术:
单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料,广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等,但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步,在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导,籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心,籽晶要求选材要好,要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分,一般取材部位与尾部要有足够距离,切割过程中不能有切割损伤,以免影响单晶硅晶体的生长,目前还没有专业的籽晶切割夹具,籽晶切割技术含量高,切割难度大,切割过程中一旦出现损伤,在晶体的生长过程就容易出现断裂,就会造成较大的经济损失。
发明内容:
为解决上述问题,本实用新型提供了一种专业的籽晶切割夹具,所述的籽晶切割夹具由固定夹、工作台、十字榫、滑动夹、支撑台、调节钮、十字榫槽组成,其特征是支撑台的上端设置工作台,工作台的上端一侧设置固定夹,工作台的上端另一侧设置滑动夹,工作台的下端中心位置上设置十字榫,与十字榫相对应的支撑台上设置十字榫槽,十字榫的下侧设置调节钮。
本实用新型所述的十字榫、十字榫槽,其特征在于十字榫和十字榫槽的断面均为梯形,十字榫与十字榫槽相吻合。
使用时,将需要切割的籽晶利用固定夹和滑动夹夹住,通过调节钮使工作台在十字榫槽的约束下转动,完成对籽晶各面的切割作业。
本实用新型的有益效果是籽晶切割夹具结构简单,使用方便,籽晶在切割过程中不易出现损伤。
附图说明:
附图是本实用新型结构示意图,附图中:
1.固定夹,2.工作台,3.十字榫,4.滑动夹,5.支撑台,6.调节钮,7.十字榫槽。
具体实施方式:
结合附图对本实用新型进一步详细描述,以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法,本实用新型具体的实施方案为:所述的籽晶切割夹具由固定夹1、工作台2、十字榫3、滑动夹4、支撑台5、调节钮6、十字榫槽7组成,其特征是支撑台5的上端设置工作台2,工作台2的上端一侧设置固定夹1,工作台2的上端另一侧设置滑动夹4,工作台2的下端中心位置上设置十字榫3,与十字榫3相对应的支撑台5上设置十字榫槽7,十字榫3的下侧设置调节钮6。
本实用新型所述的十字榫3、十字榫槽7,其特征在于十字榫3和十字榫槽7的断面均为梯形,十字榫3与十字榫槽7相吻合。
使用时,将需要切割的籽晶利用固定夹1和滑动夹4夹住,通过调节钮6使工作台2在十字榫槽7的约束下转动,完成对籽晶各面的切割作业。
本实用新型的有益效果是籽晶切割夹具结构简单,使用方便,籽晶在切割过程中不易出现损伤。
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