[实用新型]超纯氦纯化装置

权利要求书

1.一种超纯氦纯化装置，其特征在于：包括原料泵（1）、缓冲罐（2）、膜式加压机（3）、纯化器（4）、超纯氦灌装单元（5）和压力表（6）；所述原料泵（1）、缓冲罐（2）、膜式加压机（3）、纯化器（4）和超纯氦灌装单元（5）依次通过管路连接，压力表（6）位于纯化器（4）与超纯氦灌装单元（5）之间。

2.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述纯化器（4）包括法兰盖（41）、进气部分（42）、纯化部分（43）、出气管（44）和纯化器底座（45）；所述进气部分（42）包括进气管（421）和换热盘管（422）；所述纯化部分（43）包括吸附剂筒体（431）、预冷盘管（432）、液氮注入口（433）、气氮放空管（434）和排液口（435）；所述纯化器外形为杜瓦瓶，顶部固定有一法兰盖（41），所述进气管（421）插入法兰盖（41）与换热盘管（422）连接，换热盘管（422）尾端连接输气管插入吸附剂筒体（431）内，所述吸附剂筒体（431）外两侧固定有预冷盘管（432），所述液氮注入口（433）位于纯化器侧面下部，所述纯化器瓶底有一纯化器底座（45），且瓶底连接有一个排液口（435），一根气氮放空管（434）垂直方向插入纯化器，直到液氮注入口（433）附近固定，且气氮放空管（434）与液氮注入口（433）均位于吸附剂筒体（431）外，所述出气管（44）插入纯化器顶部法兰盖（41），固定在纯化器上部。

3.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述膜式加压机（3）与纯化器（4）的连接管路上还设有另一根管路，通向原料泵（1），且该管路上有一循环阀（7）。

4.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述膜式加压机（3）与纯化器（4）之间有一纯化阀（46）。

5.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：还包括一个活化再生单元（8），由电加热棒（81）、机械真空泵（82）、压力表（6）和抽空阀（83）组成；所述机械真空泵（82）通过管路连接出气管（44），所述管路上安装有压力表（6）和抽空阀（83），所述电加热棒（81）垂直方向插入纯化器吸附剂筒体（431）内部。