[实用新型]单晶炉氩气流量控制装置无效
| 申请号： | 201120093565.0 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN202090099U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 韩有河;章东林 | 申请（专利权）人： | 上海三晶新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 董梅 |
| 地址： | 201708 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉氩气 流量 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉氩气流量控制装置，包括带进气口、出气口的通气管道、质量流量控制器以及开关阀，各部件与通气管道间采用卡套式连接，其特征在于，所述的控制装置设有三条供气线路和一条应急线路，所述开关阀包括电磁阀和手动阀，其中：
第一供气线路：氩气自进气口（8）输入，经第一电磁阀（2），自第一出气口（9）输出；
第二供气线路：氩气自进气口（8）输入，依次经质量流量控制器（5）和第二电磁阀（3），自第一出气口（9）输出；
第三供气线路：氩气自进气口（8）输入，依次经压力表（6）、质量流量控制器（5）和第三电磁阀（4），自第二出气口（10）输出；
应急线路：与第一供气线路并联，氩气自进气口（8）输入，经手动调节阀（1），自第一出气口（9）输出。
2.根据权利要求1所述的单晶炉氩气流量控制装置，其特征在于：所述的卡套式连接为通气管道与手动调节阀（1）、第一电磁阀（2）、第二电磁阀（3）、第三电磁阀（4）、质量流量控制器（5）及压力表（6）均通过不锈钢卡套（7）连接。
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