[实用新型]一种热氢化炉导流罩有效

专利信息
申请号: 201120078106.5 申请日: 2011-03-23
公开(公告)号: CN202028382U 公开(公告)日: 2011-11-09
发明(设计)人: 沈伟 申请(专利权)人: 四川瑞能硅材料有限公司
主分类号: B01J12/00 分类号: B01J12/00;C01B33/107
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 徐宏;吴彦峰
地址: 620041 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 氢化 导流
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种气化炉的零部件,特别是一种热氢化炉的导流罩。

背景技术

目前,在热氢化炉的生产过程中,四氯化硅与氢气从炉体的顶部进料,经过金属导流罩、C-C隔热罩的导流、逐层加热,进到内部空间,由加热器发热后使四氯化硅与氢气最终达到反应所需要的高温,进行反应,将四氯化硅氢化成所需的三氯氢硅,消耗了副产物,得到多晶硅还原反应所需要的原料。

由于炉内的热量均由加热器通电后发热提供,热量通过热辐射加热炉内充满的四氯化硅与氢气。但是热量也会产生辐射,并穿过C-C隔热罩、金属导流罩,到达氢化炉筒内壁,最终使得炉筒的夹套冷却水冷却带着热量。因此不可避免的存在着热量的浪费。所以,需要尽量的做好炉筒内部的保温,以尽力提高炉内的整体温度,使加热器的功率减小,起到节能的作用。现有的金属导流罩只是单纯的不锈钢316L材质,单层结构,不能起到保温作用,只能起到导流作用,保温全靠内层的C-C隔热罩,不能满足要求。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种结构简单、使用方便的热氢化炉导流罩,该导流罩不仅能够起到导流的作用,而且还具有良好的保温效果,该导流罩的使用,可以减小加热器的发热功率,降低能耗,同时炉体内的温度提高,也提高了四氯化硅生产成为三氯氢硅的转化率。

本实用新型采用的技术方案如下:

本实用新型的热氢化炉导流罩,设置于炉筒内,且位于C-C隔热罩外,所述C-C隔热罩内设置有加热器,所述导流罩主要由三层罩体套装并固定在一起。

由于采用了上述结构,导流罩采用三层罩体依次套装,并依次固定在一起的结构,相对于现有的单层不锈钢结构的导流罩,具有很好的导流以及保温的效果,可以减小加热器的发热功率,降低能耗,同时炉体内的温度提高,也提高了四氯化硅生产成为三氯氢硅的转化率。

本实用新型的热氢化炉导流罩,所述导流罩的最内层罩体由钼制成,中间层罩体和最外层罩体均由不锈钢材料制成。

由于采用了上述材料制成导流罩,使得导流罩具有更好的保温效果,且导流罩的耐高温能力得以提升,提高了其使用寿命,降低了维护和使用的成本。

本实用新型的热氢化炉导流罩,在最外层罩体与中间层罩体之间填充有石墨毡形成第四层罩体,在最内层罩体与中间层罩体之间填充有碳纤维形成第二层罩体,形成五层罩体套装的结构。

由于采用了上述结构,在最外层罩体与中间层罩体之间填充石墨毡,在最内层罩体与中间层罩体之间填充碳纤维,其中石墨毡与碳纤维的保温效果均非常好,使得整个导流罩的保温效果良好,且采用了上述机构,形成五层结构的导流罩,可以将热量隔绝在金属导流罩内壁,提高了炉内的整体温度,减小了加热器的发热功率,降低了能耗,同时温度的提高,也使四氯化硅生产三氯氢硅的转化率得到了提高。

本实用新型的热氢化炉导流罩,最内层与中间层之间铆接在一起,最外层与中间层之间焊接在一起。

由于采用了上述结构,使得导流罩的罩体之间的连接稳定,保证使用安全,且较少维修,降低维修成本。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

1.    本实用新型的热氢化炉导流罩,结构简单,使用方便,适合推广;

2.    本实用新型的热氢化炉导流罩,不仅能够起到导流的作用,而且还具有良好的保温效果;

3.    本实用新型的热氢化炉导流罩,可以减小加热器的发热功率,降低能耗,同时炉体内的温度提高,也提高了四氯化硅生产成为三氯氢硅的转化率。

附图说明

图1是本实用新型的热氢化炉导流罩的结构示意图。

图中标记:1-加热器、2-C-C隔热罩、3-导流罩、4-炉筒。

具体实施方式

下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

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