[实用新型]一种单晶直拉工艺用籽晶夹头无效
申请号: | 201120071886.0 | 申请日: | 2011-03-18 |
公开(公告)号: | CN202030859U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 钱荣林;聂在涌 | 申请(专利权)人: | 浙江荣马电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 舒良 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶直拉 工艺 籽晶 夹头 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶直拉工艺用籽晶夹头。
背景技术
在单晶直拉工艺中,需要用籽晶对单晶炉内真空环境下的多晶硅熔液进行引晶。籽晶安装在籽晶夹头上,籽晶夹头装在重锤上,通过重锤带动籽晶实现对单晶棒的拉制。但是籽晶夹头中的籽晶通道中空贯穿用于籽晶穿过,籽晶穿过时不密闭通道,因此,当重锤里的锈铁等杂质随着贯穿的中空管道缝隙掉落到硅熔液里,从而沾污硅料,导致拉晶脱棱,甚至不能成晶。
发明内容
本实用新型的目的是提供能防止重锤中杂质落入硅熔液中的一种单晶直拉工艺用籽晶夹头。
本实用新型采取的技术方案是:一种单晶直拉工艺用籽晶夹头,包括接头、籽晶夹身、籽晶通道和销孔,接头位于籽晶夹身一端,籽晶通道和销孔位于籽晶夹身中的另一端且部分重合,销孔的方向与籽晶通道的方向相交叉,其特征在于籽晶通道位于籽晶夹身中但不贯穿于籽晶夹身。
采用本实用新型,当重锤与籽晶夹头衔接时,卡住籽晶夹头部位的锈铁等杂质不会掉落到硅熔液里而沾污硅料,有利于提高拉晶成品率。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
图中序号表示:螺纹接头1、籽晶夹身2、籽晶通道3和销孔4
具体实施方式
下面对本实用新型作进一步说明。
参照图1,该单晶直拉工艺用籽晶夹头包括螺纹接头1、籽晶夹身2、籽晶通道3和销孔4,螺纹接头1位于籽晶夹身2一端,籽晶通道3和销孔4位于籽晶夹身2中的另一端且部分重合,销孔4的方向与籽晶通道3的方向相交叉,籽晶通道3位于籽晶夹身2中但不贯穿于籽晶夹身2。使用前,通过螺纹接头1将该籽晶夹头安装在重锤上,然后将籽晶安装在籽晶通道3并通过销孔4中加入销后固定即可。使用时,因籽晶通道3位于籽晶夹身2中但不贯穿于籽晶夹身2,重锤上的锈铁等杂质不会通过籽晶通道3落入硅熔液里,可以防止拉晶脱棱甚至不能成晶的现象发生,从而提高拉晶成品率。
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