[实用新型]硅材料的压差湿处理装置无效
| 申请号： | 201120033322.8 | 申请日： | 2011-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN202030865U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 倪党生;朱伟然 | 申请（专利权）人： | 上海思恩电子技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201323 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 材料 压差湿 处理 装置 | ||
1.一种硅材料的压差湿处理装置，包括：
压差容器；
在所述压差容器的内部，通过一支架设置有用于安放硅材料的载料构件；
在所述压差容器的顶部设有密封盖；
其特征在于，所述压差容器的壁面上设有超纯水入口，液位接口，排液接口，压缩气体接口和真空接口。
2.如权利要求1所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述超纯水入口设于临近所述载料构件的下部边沿平面。
3.如权利要求1所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述液位接口的位置略高于所述载料构件的上部边沿平面。
4.如权利要求1所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述排液接口位于所述压差容器的最低点处。
5.如权利要求1所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述压缩气体接口和真空接口高于所述液位接口。
6.如权利要求1所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述密封盖包括盖体，设于盖体的边缘彼此相对的转动臂和锁紧机构。
7.如权利要求6所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述密封盖还包括设于所述盖体的下部整个圆周边缘或四周边缘的密封圈。
8.如权利要求6所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述压差容器和所述密封盖的横截面为圆形或矩形。
9.如权利要求1所述的硅材料的压差湿处理装置，其特征在于，所述装置还包括与所述超纯水入口相连的纯水供应管路，所述纯水供应管路设有在线加热器。
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