[发明专利]一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置

说明书

技术领域

本发明属于一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，具体涉及一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，特别是指一种能散除真空溅镀靶极工作热能，以确保靶极运作正常。 

背景技术

光伏玻璃溅镀靶极主要作为溅镀岂止的来源，是以物理气象沈积方式运作，其工作原理既在真空腔室通入高压电源以解离腔室内工作气体，同时以溅镀靶极为阴极，解离后的工作气体中含有正离子及电子，正离子在高压电场的作用下会被加速冲向阴极的靶极，轰击靶极上的溅镀原材料，使材料以原子方式飞溅在对象的光伏玻璃表面上，形成薄膜。是以，此过程会在靶极上产生极高的热能，需要将废热适时的散除，否则靶极会因为温度过高产生极大的副作用，甚至无法工作。而目前作普遍的作法是，在靶极上通入连接整个系统的冷却水回路，众所周知地，此类方式所常面临耗水量大、水压及水温无法独立控制等问题。 

发明内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在10~15℃，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。        

本发明之功效在于，利用该循环系统单元、该冷却水进水系统单元与该温控阀进水单元等相配合，达到热能交换，水压及水温控制等功效。

第一图系为本发明一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置示意图，主要组件符号说明：1．．．循环汞浦2．．．溅镀靶极3．．．自循环进水管4．．．自循环出水管5．．．温控单元 

6．．．自循环出水管温度传感器7．．．自循环进水管温度传感器8．．．冷却水进水阀9．．．自循环旁路管路。

具体实施方式

    下面结合附图对本发明做进一步说明。 

请参阅第一图所示，一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，是属于密闭式循环系统，其包括循环汞浦1、溅镀靶极2、自循环进水管3、自循环出水管4、温控单元5、自循环出水管温度传感器6、自循环进水管温度传感器7、冷却水进水阀8及自循环旁路管路9所组成，该冰水进水单元为厂务端进水系统，保持在10~15℃，且一用以将冷却水输出往循环系统，具体作用是：循环汞浦1将循环水从自循环进水管3将循环水输入至溅镀靶极2，在从自循环出水管路4回至循环汞浦1，如此不断循环以将溅镀靶极2的工作热能散除，同时设有旁路管9以消除多馀水压却保管内压力保一稳定。该温控阀进水单元5是用以侦测管内水温，当自循环出水管温度传感器6读值未超过设定值时，整个系统处于密闭式循环，当自循环出水管温度传感器6温度超过设定值时，温控阀进水单元5动作，同时打开外部冷却水进水阀8，此举，将外部冷却冰水引入密闭式循环中，以快速冷却循环系统中来自溅镀靶极2的热能，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极2，可独立控制循环至溅镀靶极2的水流及水压，当温控阀进水单元5动作时，冷却水进水阀门8打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，冷却水进水阀门9关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极。 

    以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权利要求范围之内。