[发明专利]带观察窗的单晶炉上炉盖

说明书

技术领域                                              

本发明涉及一种带观察窗的单晶炉上炉盖，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。

背景技术

单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。

在本发明做出之前，目前普遍采用的单晶炉的上炉盖为封闭式，由于这样便看不到上炉体内部单晶硅晶棒的拉拔情况，对操作人员的操作带来了不便。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种方便操作人员判断和操作的带观察窗的单晶炉上炉盖。

本发明的目的是这样实现的：

本发明带观察窗的单晶炉上炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体中间开口设有隔离阀，所述炉盖本体在隔离阀的两侧开有进水口和出水口，所述炉盖本体上还开有观察窗。

本发明带观察窗的单晶炉上炉盖具有以下优点：

这种带观察窗的单晶炉上炉盖在盖体上开设了一个通孔，并在通孔内装上了钢化玻璃作为观察窗，操作人员可以通过玻璃看到上炉体内单晶硅晶棒的拉拔情况，从而做出相应操作，方便了员工操作。

附图说明

图1为本发明带观察窗的单晶炉上炉盖的结构示意图。

图中：炉盖本体1、隔离阀2、进水口3、出水口4、观察窗5。

具体实施方式

参见图1，本发明涉及的一种带观察窗的单晶炉上炉盖，包括炉盖本体1，所述炉盖本体1中间开口设有隔离阀2，所述隔离阀2用于装上法兰与副炉连接，所述炉盖本体1在隔离阀2的两侧开有进水口3和出水口4，用于和进出水接头相连，所述炉盖本体1上还开有观察窗5用于观察上炉体内单晶硅晶棒的拉拔情况，所述观察窗5为开设在炉盖本体1顶部的通孔，并在通孔内装上了钢化玻璃。