[发明专利]表面声波传感器系统和使用多次过境回声波的测量方法

权利要求书

1.一种表面声波(SAW)传感器系统，包括：

信号产生部件，提供第一电信号；

SAW传感器，连接到该信号产生部件以接收该第一电信号，该SAW传感器用于将该第一电信号转化为SAW，当测量目标接触感测区域时输出与测量目标对应的SAW，并将与测量目标对应的SAW转化为第二电信号；以及

信号测量部件，连接到该SAW传感器的一侧且通过按时选通多次过境回声波来检测该第二电信号的变化。

2.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中该SAW传感器包括：

压电基板；以及

输入部件，设置在该压电基板的一侧且将该第一电信号转化为SAW。

3.如权利要求2所述的SAW传感器系统，其中该SAW传感器还包括：

感测部件和输出部件，

其中该感测部件设置在该压电基板上，该感测部件输出与所述测量目标对应的SAW从而感测所述测量目标，且

其中该输出部件设置在该压电基板的另一侧且在该输出部件中将与所述测量目标对应的SAW转化为所述第二电信号。

4.如权利要求3所述的SAW传感器系统，其中该多次过境回声波被该输出部件的一部分反射至少一次，且

其中该多次过境回声波还被该输入部件的一部分反射至少一次。

5.如权利要求2所述的SAW传感器系统，还包括：

设置在该压电基板上的抗氧化膜。

6.如权利要求2所述的SAW传感器系统，还包括：

设置在该压电基板上的绝缘膜。

7.如权利要求3所述的SAW传感器系统，其中该输入部件和该输出部件中的至少一个包括交叉指型换能器(IDT)。

8.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中该SAW选自弯曲平板波、勒夫波、掠面体波和拉姆波。

9.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中所述测量目标是蛋白质、DNA、病毒、细菌、细胞、组织、气体、温度、压力和湿度中的至少一种。

10.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中该SAW传感器选自生物传感器、气体传感器、温度传感器、压力传感器和湿度传感器。

11.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中该多次过境回声波是N次过境回声波中的至少一种，其中N是奇数且等于或大于3。

12.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中该信号测量部件检测所述电信号的频率、相位、幅度和时钟脉冲数中的至少一种的变化。

13.如权利要求1所述的SAW传感器系统，其中该信号测量部件检测所述测量目标的压力、旋转力、震动、张力、重力、质量、蒸发、生化、温度、湿度、冷冻、粘性、位移、流动性、感光、光角度、加速度、磨损和污染中的至少一种。

14.一种表面声波(SAW)传感器系统，包括：

SAW传感器；以及

信号测量部件，

其中该SAW传感器包括输入部件、输出部件以及设置于该输入部件和该输出部件之间的感测部件，

其中来自该输入部件的SAW被该输出部件的一部分反射且被第一次反射的SAW朝向该输入部件移动，

其中被第一次反射的SAW被该输入部件的一部分进一步反射且被第二次反射的SAW朝向该输出部件移动，

其中被第二次反射的SAW是N次过境回声波，N为三，

其中该输出部件将被第二次反射的SAW转化成电信号，且

其中连接到该SAW传感器的信号测量部件通过按时选通N为三的该N次过境回声波来检测所述电信号的改变。

15.如权利要求14所述的SAW传感器系统，其中该感测部件设置在压电基板上。

16.如权利要求15所述的SAW传感器系统，还包括：

绝缘膜，设置在该压电基板上。

17.如权利要求14所述的SAW传感器系统，其中该输入部件和该输出部件中的至少一种包括交叉指型换能器(IDT)。

18.如权利要求14所述的SAW传感器系统，其中该信号测量部件检测该电信号的频率、相位、幅度和时钟脉冲数中的至少一种的变化。