[发明专利]一种柔性超长表面等离子体激元波导

权利要求书

1.一种柔性超长表面等离子体激元波导，由光电输入端（1）、光电输出端（2）、柔性衬底（3）、柔性表面等离子体激元波导阵列（4）构成，其特征在于柔性表面等离子体激元波导阵列（4）制备于柔性衬底（3）之上，然后经过端面抛光，弯曲对准与焊接等技术形成两端错开一定位置，且具有独立的光电输入端（1）与独立光电输出端（2）的螺旋形柔性超长波导结构；

该超长柔性表面等离子体激元波导结构由平面的柔性表面等离子体激元波导阵列卷曲对接成为筒状制作而得，柔性表面等离子体激元波导阵列（4）与柔性衬底（3）的边缘呈一定角度，柔性衬底（3）两端错开一定位置弯曲成筒状，表面等离子激元波导阵列中的单根波导输出端（5）和编号在其后一根的单根波导输入端（6）连接，串联形成带有易于耦合连接的独立光电输入端（1）和独立的光电输出端（2）的柔性超长表面等离子体激元波导；

柔性表面等离子体激元波导阵列（4）由柔性有机聚合物包层（7）与波导金属芯层（8）组成，表面等离子体激元波导制备于柔性波导衬底（9）之上，所选用的金属材料为在光频波段具有表面等离子共振特性的贵金属材料，表面等离子体激元波导芯层（8）为矩形、脊形、倒脊形或条载形结构，厚度与宽度在纳米量级，柔性有机聚合物包层（8）由柔性有机聚合物材料制成，厚度和宽度均为数微米量级。