[发明专利]太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法无效
申请号: | 201110436114.7 | 申请日: | 2011-12-23 |
公开(公告)号: | CN103171246A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;杨志龙;赵录军 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | B41C1/14 | 分类号: | B41C1/14;H01L31/18 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 电池 电极 印刷 制作方法 | ||
1.一种太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:前处理
取一块待蚀刻的不锈钢钢片,对其进行除油、除锈的前处理;
S2:贴干膜
在步骤S1所得的不锈钢钢片上均匀涂布一种感光干膜;
S3:曝光
将基板固定在曝光机曝光室内,通过紫外线对基板上干膜进行曝光,以将太阳能电池的电极印刷网板的图形转移到感光干膜上面;
S4:显影
对曝光后的基板进行显影、清洗以及烘干工序,将未曝光处干膜溶解清洗掉,留下太阳能电池的电极网板图形;
S5:蚀刻
将经过显影处理后的钢片进行蚀刻,将需要开口的地方蚀刻掉。
2.如权利要求1所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于:所述步骤S2还包括:
干膜通过压膜机压贴在不锈钢片上,压膜时通过压膜机提供一定的压力及温度,使得干膜紧贴于不锈钢片表面,整体构成基板;其中,所述感光干膜为负性感光干膜。
3.如权利要求1或2所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于:在所述步骤S3中,进行曝光的区域为太阳能电池电极印刷掩膜板的掩模部位图形,即掩膜板非开口区域。
4.如权利要求3所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于:所述步骤S4包括:
将曝光后的基板放入显影机,在显影室内经显影液喷淋显影处理,显影完毕后经显影机后段暖水清洗段、溢流水洗段、烘干工序处理。
5.如权利要求4所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于:所述步骤S5包括:
将显影处理后的基板放入蚀刻机,蚀刻机内蚀刻液是采用酸性蚀刻液,在蚀刻室内,将蚀刻液通过喷淋的方式对钢片进行蚀刻,蚀刻完毕后,将不锈钢片经水洗烘干。
6.如权利要求5所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于:蚀刻时间根据不锈钢钢片的厚度、蚀刻液的浓度、温度以及蚀刻液的喷淋压力的相关参数而作定。
7.如权利要求6所述的太阳能硅电池电极印刷网板的制作方法,其特征在于:所述不锈钢片的表面要求光滑平整,所述蚀刻液为一定浓度的FeCl3溶液,根据需要可往其中加入适量的HCl。
8.根据权利要求1所述的方法制成的太阳能硅电池电极印刷网板,其特征在于:印刷网板主栅线为交叉丝网形,主体宽度为1mm—2.5mm;细栅线是以桥连的方式连接,主体宽度为35um—100um。
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