[发明专利]一种新型有机光刻胶剥离液及其制备工艺

权利要求书

1.一种新型有机光刻胶剥离液，其特征在于，所述有机光刻胶剥离液包含有机溶剂、单乙醇胺和表面活性剂，所述有机光刻胶剥离液的各组分重量百分比分别为：有机溶剂48％～70％、有机胺28％～50％、表面活性剂0.001％～3％。

2.如权利要求1所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述有机溶剂为水溶性有机溶剂，所述表面活性剂为阴离子表面活性剂，所述有机胺为单乙醇胺。

3.如权利要求2所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述含水溶性有机溶剂为二甲基亚砜或二甲基甲酰胺。

4.如权利要求3所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述阴离子表面活性剂为月桂酸硫酸钠、二辛基琥珀酸磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠和十六烷基硫酸钠中的至少一种。

5.如权利要求4所述的光刻胶剥离液，其特征在于，所述有机光刻胶剥离液中未溶解杂质颗粒度大于0.3μm的颗粒数不超过100个，杂质阴离子不超过1ppb，杂质阳离子不超过50ppb。

6.一种新型有机光刻胶剥离液的制备工艺，其特征在于，所述制备工艺包括如下加工步骤：

第一步：将有机溶剂、有机胺和表面活性剂按权利要求1所述配比称重配置；

第二步：将有机溶剂加入配料罐中，搅拌下加入有机胺，搅拌均匀；

第三步：往混匀的有机溶剂和有机胺的混合物中加入表面活性剂，充分搅拌；

第四步：将混合物通入过滤器中过滤，得到所述有机光刻胶剥离液。

7.如权利要求6所述的光刻胶剥离液的制备工艺，其特征在于，所述过滤器的微滤膜孔径为0.05～0.15μm。

8.如权利要求7所述的光刻胶剥离液的制备工艺，其特征在于，所述过滤在空气中颗粒度大于0.5μm的颗粒不超过100个的百级净化环境中进行。

9.如权利要求8所述的光刻胶剥离液的制备工艺，其特征在于，所述搅拌为机械搅拌或磁力搅拌，搅拌的速度为60～85转/分钟。

10.如权利要求9所述的光刻胶剥离液的制备工艺，其特征在于，所述搅拌与过滤是在常温、常压的状态下进行。