[发明专利]一种基于介质阻挡放电的固体样品剥蚀方法及装置

权利要求书

1.一种基于介质阻挡放电的固体样品剥蚀方法，包括如下步骤：

工作气体在交流电场的作用下进行介质阻挡放电产生等离子体射流；所述等离子体射流聚于待测固体样品上即可对所述待测固体样品中的元素进行剥蚀。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述工作气体为氦气、氩气、氖气、氮气、氢气和氧气中至少一种；所述工作气体的流速为100mL/min～600mL/min。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述交流电源的放电功率为1w～100w。

4.一种基于介质阻挡放电的固体样品剥蚀装置，其特征在于：所述装置包括样品室和毛细管，所述样品室包括样品室腔体和与该样品室腔体相配合的样品室盖体；所述毛细管固设于所述样品室盖体上且一端延伸至所述样品室腔体内；所述毛细管设于所述样品室腔体外的部分上贴附有两个电极，所述两个电极之间设有间距，所述两个电极均与交流电源相连接；所述样品室腔体的侧壁上的相对位置处分别设有辅助气体进口和出气口；所述样品室和毛细管的材质均为绝缘介质。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述毛细管的内径为100nm～5mm，所述两个电极之间的距离为2cm～8cm。

6.根据权利要求4或5所述的装置，其特征在于：所述样品室盖体的材质为石英玻璃、硅氧玻璃或有机玻璃。

7.根据权利要求4-6中任一所述的装置，其特征在于：所述毛细管与样品室盖体之间通过真空硅脂、橡皮泥、玻璃胶或密封圈进行密封配合。

8.根据权利要求4-7中任一所述的装置，其特征在于：所述样品室的底部与其侧壁之间可为旋转配合，该底部与电动转动平台相连接。

9.根据权利要求4-8中任一所述的装置，其特征在于：所述绝缘介质为石英玻璃、有机玻璃、陶瓷或聚四氟乙烯塑料。