[发明专利]一种电主轴的保护装置、方法及减薄机

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路的封装设备，特别是指一种电主轴的保护装置、方法及减薄机。

背景技术

减薄机是使用磨轮对晶圆表面进行磨削加工的设备，是集成电路制程中最关键的后封装设备。减薄机的工作机理是强力磨削，电主轴是强力磨削的执行部件。电主轴是将电机的定子、转子直接装入主轴组件的内部，有时也称作直接驱动主轴(Direct Drive Spindle)，是内装式电机主轴。

为了保证晶圆的磨削加工质量，要求电主轴具备高转速、高精度及高稳定性，通常采用空气静压电主轴。

减薄机工作时，磨削冷却液从转轴中心进入，通过磨轮上的小孔进入磨轮与晶圆接触的表面，带走磨削过程中产生的热量。通常的电主轴没有漏液保护装置，如果小孔堵塞，冷却液将沿着磨削冷却液进液中心孔溢出进入空气轴承，造成电主轴毁损，减薄机无法工作。本发明的发明人在实现本发明的过程中发现，现有技术的减薄机电主轴对漏液保护考虑的不够，而当电主轴磨削冷却液溢出并进入空气轴承时，如系统不报警并使电主轴停止运行，则将导致电主轴无法正常工作，甚至造成电主轴抱死。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种电主轴的保护装置、方法及减薄机，可以避免减薄机电主轴的磨削冷却液溢出后进入空气轴承，保护减薄机电主轴不被损坏。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供一种电主轴的保护装置，包括：

接收模块，用于接收从所述电主轴的磨削冷却液进液中心孔溢出的冷却液；

传感模块，用于与所述接收模块连接，并检测所述接收模块中两预定检测点间的电压，并输出电压信号；

滤波电路模块，用于将所述传感模块输出的电压信号进行滤波，并输出滤波后的电压信号；

放大电路模块，用于对所述滤波后的电压信号进行放大，并输出放大后的电压信号；

比较电路模块，用于在所述放大后的电压信号小于一预定阈值时，输出第一比较结果信号；

控制模块，用于根据所述第一比较结果信号，控制所述电主轴停止运行或按预定的方式运行。

优选的，所述控制模块包括：

处理模块，用于根据比较第一比较结果信号，发出第一控制信号；

电主轴驱动模块，用于根据所述第一控制信号，控制所述电主轴停止运行或按预定的方式运行。

优选的，所述比较电路模块还用于在所述放大电路模块输出的所述放大后的电压信号小于所述预定阈值时，输出第二比较结果信号；

所述控制模块还包括：

报警模块，用于根据第二比较结果信号，发出报警信息。

优选的，所述接收模块通过导管与磨削冷却液进液中心孔连接。

优选的，所述传感模块通过压板及螺钉固定在所述接收模块的底部。

优选的，所述滤波电路模块包括：第一电阻、第二电阻、第一反馈电阻、电容和滤波放大器；其中，

所述第一电阻的一端与所述传感模块相连接，另一端与滤波放大器的正输入端相连接；

所述第二电阻的一端与所述滤波放大器的所述负输入端相连接，另一端作为所述滤波放大器的参考电压的输入端；

所述电容的一端接地，另一端与所述滤波放大器的所述正输入端相连接；

所述第一反馈电阻的一端与所述滤波放大器的输出端相连接，另一端与所述滤波放大器的负输入端相连接；

所述滤波放大器的电源端连接电源。

优选的，所述放大电路模块包括：第三电阻、第四电阻、第二反馈电阻和运算放大器；其中，

所述第三电阻的一端与所述滤波电路模块的所述滤波放大器的所述输出端连接，另一端与所述运算放大器的正输入端连接；

所述第四电阻的一端接地，另一端与所述运算放大器的负输入端连接；

所述第二反馈电阻的一端与所述运算放大器的输出端相连接，另一端与所述运算放大器的正输入端连接；

所述运算放大器的电源端连接电源。

优选的，所述比较电路模块包括：第五电阻、第六电阻和比较器；其中，

所述第五电阻的一端与所述放大电路模块的所述运算放大器的输出端连接，另一端与所述比较器的负输入端连接；

所述第六电阻的一端与所述比较器的正输入端连接，另一端作为参考电压的输入端；

所述比较器的电源端连接电源；

所述比较器的输出端与所述控制模块连接。

另一方面，本发明的实施例还提供一种电主轴的保护方法，包括：

接收从所述电主轴的磨削冷却液进液中心孔溢出的冷却液；