[发明专利]一种电主轴的磨削冷却液进液机构及减薄机

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路封装设备，特别是指一种电主轴的磨削冷却液进液机构及减薄机。

背景技术

减薄机是使用磨轮对晶圆表面进行磨削加工的设备，是集成电路制程中最关键的后封装设备。减薄机的工作机理是强力磨削，电主轴是强力磨削的执行部件。电主轴是将电机的定子、转子直接装入主轴组件的内部，有时也称作直接驱动主轴(Direct Drive Spindle)，是内装式电机主轴。

为了保证晶圆的磨削加工质量，要求电主轴具备高转速、高精度及高稳定性，通常采用空气静压电主轴。

减薄机工作时，磨削冷却液从转轴中心进入，通过磨轮上的小孔进入磨轮与晶圆接触的表面，带走磨削过程中产生的热量。通常的电主轴采用旋转接头将磨削冷却液引入到转轴中心，旋转接头的转体与转轴连接，非旋转部件与转体紧密贴合实现密封。采用旋转接头，转体与非旋转部件间的密封接触应力将会给转轴施加载荷，由于空气静压电主轴刚度低，密封接触应力施加的载荷将会影响转轴的静态跳动精度，同时旋转接头的转体也会降低转轴的动平衡精度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种电主轴的磨削冷却液进液机构及减薄机，可以实现给电主轴导入磨削冷却液，同时不降低电主轴的静态跳动精度和动平衡精度。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供一种电主轴的磨削冷却液进液机构，包括：

一设有进液口的导液柱；

所述导液柱与所述电主轴的转轴的磨削冷却液进液中心孔间隙密封。

优选的，上述电主轴的磨削冷却液进液机构，还包括：一密封轴承以及一后盖；

所述密封轴承与所述转轴之间设有间隙，所述密封轴承固定在所述后盖上；

所述后盖设有所述密封轴承与所述转轴之间的间隙的进气口，所述间隙中进入气体后，所述密封轴承与所述转轴之间形成气体密封；

所述后盖还设有排液口。

优选的，上述电主轴的磨削冷却液进液机构，还包括：一转接固定盘；

所述导液柱固定在所述转接固定盘上；

所述转接固定盘固定在所述后盖上。

优选的，上述电主轴的磨削冷却液进液机构，还包括：一径向轴承套以及外壳体；

所述后盖固定在所述径向轴承套上，所述径向轴承套固定在所述外壳体上。

优选的，所述导液柱通过螺钉固定在所述转接固定盘上；

所述转接固定盘和所述密封轴承通过螺钉固定在所述后盖上；

所述后盖通过螺钉固定在所述径向轴承套上；

所述径向轴承套通过螺钉固定在所述外壳体上。

优选的，上述电主轴的磨削冷却液进液机构，还包括：一径向轴承；

所述径向轴承与所述转轴之间设有间隙，并设于所述密封轴承下方。

优选的，上述电主轴的磨削冷却液进液机构，还包括：一转轴后盖板；

所述转轴后盖板设置于所述密封轴承的上方，并与所述密封轴承之间设有迷宫结构的间隙，形成迷宫密封。

优选的，所述转轴后盖板固定在所述转轴的后端面。

优选的，所述转轴后盖板通过螺钉固定在所述转轴的后端面。

另一方面，本发明的实施例还提供一种减薄机，包括电主轴以及上述的电主轴的磨削冷却液进液机构。

本发明的上述技术方案的有益效果如下：

上述方案中，磨削冷却液进液机构可以为电主轴导入磨削冷却液，并且不会对转轴施加载荷，从而不会降低电主轴的静态跳动精度以及动平衡精度。

附图说明

图1为本发明的实施例的电主轴的磨削冷却液进液机构的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

如图1所示，本发明的实施例中电主轴的磨削冷却液进液机构示意图。该磨削冷却液进液机构包括：一设有进液口A的导液柱1，优选的，该进液口用于导入冷却水，导液柱1为导水柱，当然，本发明的实施例中不限于是冷却水，还可以是其它的具有冷却效果的液体；所述导液柱1与所述电主轴的转轴8上的磨削冷却液进液中心孔之间设有微小间隙，并形成间隙密封。该实施例中，通过导管接头插入进液口A给电主轴导入磨削冷却液，可以减小磨削冷却液受阻时向上溢出，由于导液柱1与转轴8之间没有接触，导液柱1在导入冷却液的同时不会对转轴8施加载荷，从而不会降低电主轴的静态跳动精度和动平衡精度。