[发明专利]一种SF6气体分解产物的检测装置

权利要求书

1.一种SF₆气体分解产物的检测装置，其特征在于：该装置包括回收处理模块以及并行设置的检测模块和流量调节模块，所述检测模块和流量调节模块的输入端分别与三通切换阀的两个出口相连，所述检测模块和流量调节模块的输出端分别与回收处理模块的输入端相连；被测气体经由三通切换阀的入口进入该检测装置，并由三通切换阀控制被测气体先进入流量调节模块，调节气体流量至检测需要值后切换三通切换阀使气体进入检测模块，对被测气体分解产物的含量进行检测，经过流量调节模块和检测模块输出的被测气体均由回收处理模块进行回收处理，以实现检测过程的零排放。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述检测模块、流量调节模块和回收处理模块分别通过管路进行连通。

3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于：所述管路的壁厚不小于1mm、内径为2-4mm；所述管路采用聚四氟乙烯管。

4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述流量调节模块包括：

流量调节阀II，用于调节被测气体流量至检测需要值；和

检测管II，用于监测被测气体的流量。

5.如权利要求或4所述的检测装置，其特征在于：将割断两端封口尖端的检测管II安装在两段管道之间，所述流量调节阀II安装在与检测管II输入端相连接的管道上。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测模块包括：

检测管I，用于检测被测气体分解产物的含量；和

计时器I，用于计时。

7.如权利要求或6所述的检测装置，其特征在于：将割断两端封口尖端的检测管I安装在两段管道之间，所述计时器I安装在与检测管I输出端相连的管道上。

8.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述流量调节模块和检测模块均包括结构相同的流量调节阀、检测管和计时器，用于实现流量调节模块与检测模块之间的互换，即：待测气体先进入的那个模块作为流量调节模块，该模块中的检测管用来监测被测气体流量；另一模块则作为检测模块，该模块中的检测管用来检测被测气体分解产物的含量。

9.如权利要求8所述的检测装置，其特征在于：通过调整检测模块中计时器的计时时长，实现检测模块中检测管的量程变换。

10.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述回收处理模块包括吸附剂和气体回收装置，所述吸附剂安装在与气体回收装置输入端相连的管道中，被测气体经过吸附剂去除气体的分解产物后，将气体通入气体回收装置进行回收。

11.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于：所述气体回收装置包括真空泵、回收钢瓶和用于控制电气、监控压力的辅助设施。